MEMS电容式方块谐振器的等效模型研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究动态 | 第11-13页 |
| 1.2.1 微机械器件的谐振频率 | 第11-12页 |
| 1.2.2 品质因数的改善 | 第12页 |
| 1.2.3 动态阻抗的降低 | 第12-13页 |
| 1.2.4 谐振器的理论模型 | 第13页 |
| 1.3 主要工作 | 第13-16页 |
| 第二章 谐振器的模态和本征频率 | 第16-22页 |
| 2.1 方块谐振器的本征频率 | 第16-19页 |
| 2.1.1 边界条件 | 第16-17页 |
| 2.1.2 本征频率 | 第17-19页 |
| 2.2 方块谐振器的模态方程 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 谐振器的电路模型 | 第22-36页 |
| 3.1 已有电路模型的分析比较 | 第22-23页 |
| 3.1.1 串联RLC模型 | 第22-23页 |
| 3.1.2 换能器电路模型 | 第23页 |
| 3.1.3 负电容模型 | 第23页 |
| 3.2 压控电流源电路模型 | 第23-25页 |
| 3.2.1 输出信号产生原理 | 第23-24页 |
| 3.2.2 本文提出的电路模型 | 第24-25页 |
| 3.3 模型中机械参数的计算 | 第25-28页 |
| 3.3.1 静电驱动力 | 第26-27页 |
| 3.3.2 机械参数的计算 | 第27-28页 |
| 3.4 模型中电气参数的计算 | 第28-31页 |
| 3.4.1 电气弹性系数 | 第28-29页 |
| 3.4.2 等效阻抗参数 | 第29-30页 |
| 3.4.3 谐振器的输出特性 | 第30-31页 |
| 3.5 压控调谐电容的特性 | 第31-35页 |
| 3.5.1 调谐电容的推导 | 第31-33页 |
| 3.5.2 调谐电容的计算方式 | 第33-35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 器件加工与实验和数据分析 | 第36-52页 |
| 4.1 谐振器的加工 | 第36-39页 |
| 4.1.1 工艺分析比较 | 第36-38页 |
| 4.1.2 器件的加工 | 第38-39页 |
| 4.2 实验环境与方法 | 第39-42页 |
| 4.2.1 实验环境与连接方式 | 第39-40页 |
| 4.2.2 差分测试方法 | 第40-42页 |
| 4.3 实验结果与数据分析 | 第42-49页 |
| 4.3.1 谐振频率的测量 | 第42-44页 |
| 4.3.2 等效模型参数 | 第44-48页 |
| 4.3.3 谐振器的频率非线性 | 第48-49页 |
| 4.4 器件的封装 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 可动电极结构的可靠性 | 第52-61页 |
| 5.1 可动电极结构及其作用 | 第52-54页 |
| 5.2 针对可动梁的力学分析 | 第54-55页 |
| 5.2.1 偏置电压产生的静电力 | 第54页 |
| 5.2.2 可动梁的回复力 | 第54-55页 |
| 5.3 可动梁的优化设计 | 第55-58页 |
| 5.3.1 间隙减小的条件 | 第55页 |
| 5.3.2 可动梁结构尺寸的影响 | 第55-57页 |
| 5.3.3 有限元仿真对比 | 第57-58页 |
| 5.4 可动电极结构的实验结果 | 第58-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结束语 | 第61-63页 |
| 6.1 研究结论 | 第61页 |
| 6.2 工作展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
