离焦飞秒激光在硅上烧蚀的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 超短脉冲激光的发展史 | 第8-9页 |
| 1.2 激光的基本原理 | 第9-11页 |
| 1.3 飞秒激光与物质的相互作用 | 第11-14页 |
| 1.4 本文研究的主要内容和意义 | 第14-15页 |
| 2 飞秒激光硅上烧蚀的研究 | 第15-23页 |
| 2.1 飞秒激光加工系统 | 第15-18页 |
| 2.1.1 飞秒激光 | 第15页 |
| 2.1.2 激光系统 | 第15-16页 |
| 2.1.3 物镜 | 第16页 |
| 2.1.4 CCD观测系统 | 第16-17页 |
| 2.1.5 实验光路 | 第17-18页 |
| 2.2 硅表面烧蚀阈值测量 | 第18-23页 |
| 3 飞秒激光硅上线加工的研究 | 第23-34页 |
| 3.1 激光功率的影响 | 第23-25页 |
| 3.2 激光频率的影响 | 第25-26页 |
| 3.3 参数优化 | 第26-27页 |
| 3.4 氢氟酸腐蚀的作用 | 第27-28页 |
| 3.5 飞秒激光离焦划线 | 第28-34页 |
| 3.5.1 飞秒激光离焦白线形貌 | 第28-29页 |
| 3.5.2 飞秒激光离焦白线的构成 | 第29-32页 |
| 3.5.3 飞秒激光离焦加工 | 第32-34页 |
| 4 飞秒激光诱导硅表面同心环结构研究 | 第34-52页 |
| 4.1 同心环的形成 | 第34-39页 |
| 4.1.1 牛顿干涉成环 | 第34-36页 |
| 4.1.2 自相位调制成环 | 第36-37页 |
| 4.1.3 表面冲击波成环 | 第37-38页 |
| 4.1.4 激光自聚焦及散焦成环 | 第38-39页 |
| 4.1.5 光学元器件引入产生的环型结构 | 第39页 |
| 4.2 Ⅰ型飞秒激光诱导同心环 | 第39-43页 |
| 4.3 Ⅱ型飞秒激光诱导同心环 | 第43-48页 |
| 4.4 浸油环境下飞秒激光诱导同心环 | 第48-52页 |
| 5 总结与展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62页 |
