| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 国内外能源发展趋势 | 第9-10页 |
| 1.1.2 光伏发电前景 | 第10-11页 |
| 1.1.3 多晶硅太阳能电池的发展 | 第11-12页 |
| 1.2 定向凝固技术制备太阳能级多晶硅铸锭 | 第12-16页 |
| 1.2.1 定向凝固技术的发展及运用 | 第12-14页 |
| 1.2.2 定向凝固技术 | 第14-16页 |
| 1.3 影响多晶硅性能的因素 | 第16-18页 |
| 1.3.1 位错 | 第17页 |
| 1.3.2 晶界 | 第17-18页 |
| 1.4 论文研究意义及内容 | 第18-19页 |
| 1.4.1 本论文的研究意义 | 第18页 |
| 1.4.2 本论文的研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方案与设备 | 第19-30页 |
| 2.1 实验方案 | 第19-21页 |
| 2.1.1 铸锭方案与样品制备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 样品检测方案 | 第20-21页 |
| 2.2 实验原料及辅料 | 第21-23页 |
| 2.2.1 原料 | 第21-22页 |
| 2.2.2 铸锭辅料 | 第22-23页 |
| 2.3 实验仪器及相关设备 | 第23-30页 |
| 2.3.1 实验仪器 | 第23-25页 |
| 2.3.2 检测设备 | 第25-30页 |
| 2.3.2.1 微波光电导衰减仪 | 第25-26页 |
| 2.3.2.2 四探针测试仪 | 第26-27页 |
| 2.3.2.3 场发射扫描电镜及EBSD技术 | 第27-30页 |
| 第三章 下拉速率对多晶硅铸锭性能的影响 | 第30-49页 |
| 3.1 定向凝固法制备多晶硅的生长原理 | 第30-34页 |
| 3.1.1 下拉速率的确定 | 第30-32页 |
| 3.1.2 定向凝固多晶硅形核简述 | 第32-34页 |
| 3.2 实验内容 | 第34-35页 |
| 3.3 下拉速率对多晶硅铸锭组织形貌的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.1 不同下拉速率硅锭底部和侧壁形貌的表征 | 第35-36页 |
| 3.3.2 不同下拉速率硅锭位错密度的表征 | 第36-37页 |
| 3.4 下拉速率对多晶硅铸锭晶体性能的影响 | 第37-46页 |
| 3.4.1 不同下拉速率硅锭晶体取向的表征 | 第37-42页 |
| 3.4.2 不同下拉速率晶粒尺寸的表征 | 第42-43页 |
| 3.4.3 不同下拉速率晶界类型的表征 | 第43-46页 |
| 3.5 下拉速率对多晶硅铸锭电学性能的影响 | 第46-48页 |
| 3.5.1 不同下拉速率硅锭电阻率的表征 | 第46-47页 |
| 3.5.2 不同下拉速率硅锭少子寿命的表征 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 熔炼温度对多晶硅铸锭性能的影响研究 | 第49-56页 |
| 4.1 实验内容 | 第49页 |
| 4.2 熔炼温度对多晶硅铸锭组织形貌的影响 | 第49-53页 |
| 4.2.1 不同熔炼温度硅锭组织形貌的表征 | 第49-51页 |
| 4.2.2 不同熔炼温度硅锭底部显微组织的表征 | 第51-53页 |
| 4.3 熔炼温度对多晶硅铸锭电学性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.1 不同熔炼温度硅锭电阻率的表征 | 第53-54页 |
| 4.3.2 不同熔炼温度硅锭少子寿命的表征 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 坩埚底部形状对多晶硅铸锭性能的影响 | 第56-67页 |
| 5.1 衬底形貌对多晶硅形核的影响 | 第56页 |
| 5.2 实验内容 | 第56-57页 |
| 5.3 坩埚底部形状对多晶硅铸锭组织形貌的影响 | 第57-60页 |
| 5.3.1 不同坩埚底部形状对硅锭底部和侧壁形貌的表征 | 第57-59页 |
| 5.3.2 不同坩埚底部形状硅锭中边部显微组织的表征 | 第59-60页 |
| 5.4 坩埚底部形状对多晶硅铸锭晶体性能的影响 | 第60-64页 |
| 5.4.1 不同坩埚底部形状硅锭晶粒尺寸的表征 | 第60-61页 |
| 5.4.2 不同坩埚底部形状硅锭晶体取向的表征 | 第61-63页 |
| 5.4.3 不同坩埚底部形状硅锭晶界类型的表征 | 第63-64页 |
| 5.5 坩埚底部形状对多晶硅铸锭电学性能的影响 | 第64-65页 |
| 5.5.1 不同坩埚底部形状硅锭电阻率的表征 | 第64-65页 |
| 5.5.2 不同坩埚底部形状硅锭少子寿命的表征 | 第65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 结论 | 第67-68页 |
| 6.2 创新点 | 第68页 |
| 6.3 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研项目 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |