| 摘要 | 第10-12页 |
| Abstract | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-38页 |
| 1.1 透明导电薄膜的定义 | 第14页 |
| 1.2 透明导电薄膜的主要分类及发展情况 | 第14-24页 |
| 1.2.1 氧化物类透明导电薄膜 | 第14-21页 |
| 1.2.2 金属类透明导电薄膜 | 第21-22页 |
| 1.2.3 有机透明导电薄膜 | 第22-23页 |
| 1.2.4 多层透明导电薄膜 | 第23-24页 |
| 1.3 透明导电薄膜的制备技术 | 第24-29页 |
| 1.3.1 磁控溅射 | 第24-26页 |
| 1.3.2 离子束沉积 | 第26页 |
| 1.3.3 脉冲激光沉积 | 第26-27页 |
| 1.3.4 真空蒸发沉积 | 第27-28页 |
| 1.3.5 化学气相沉积 | 第28-29页 |
| 1.3.6 溶胶凝胶法 | 第29页 |
| 1.3.7 喷雾热分解法 | 第29页 |
| 1.4 透明导电薄膜的应用 | 第29-33页 |
| 1.4.1 触控面板 | 第29-32页 |
| 1.4.2 太阳能电池 | 第32页 |
| 1.4.3 平面显示器件 | 第32-33页 |
| 1.4.4 其他领域 | 第33页 |
| 1.5 研究内容及研究意义 | 第33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 第二章 实验仪器与实验步骤 | 第38-46页 |
| 2.1 透明电极及光电探测器的制备设备 | 第38-40页 |
| 2.1.1 有机光电器件制备系统 | 第38-39页 |
| 2.1.2 超声波清洗设备 | 第39-40页 |
| 2.1.3 匀胶机 | 第40页 |
| 2.2 透明电极及光电探测器分析/测试仪器 | 第40-42页 |
| 2.2.1 四探针电阻率测试仪、霍尔测量仪 | 第40-41页 |
| 2.2.2 紫外/可见光光度计 | 第41页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜 | 第41页 |
| 2.2.4 原子力显微镜 | 第41-42页 |
| 2.2.5 开尔文探针系统 | 第42页 |
| 2.2.6 数字源表和太阳模拟器 | 第42页 |
| 2.3 样品的制备与检测 | 第42-45页 |
| 2.3.1 衬底的清洗 | 第42-43页 |
| 2.3.2 透明电极的制备 | 第43-44页 |
| 2.3.3 光电探测器的制备 | 第44页 |
| 2.3.4 透明电极和光电探测器的性能测试 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第三章 TiO_2/Ag/TiO_2(TAT)透明导电薄膜的制备、优化及应用 | 第46-60页 |
| 3.1 前言 | 第46-47页 |
| 3.2 TAT三明治结构透明导电薄膜制备参数 | 第47页 |
| 3.3 Ag制备参数对于TAT透明导电薄膜性能的影响 | 第47-56页 |
| 3.3.1 Ag溅射电流对于TAT透明导电薄膜形貌的影响 | 第47-50页 |
| 3.3.2 Ag溅射电流对于TAT透明导电薄膜光电性能的影响 | 第50-53页 |
| 3.3.3 不同Ag厚度下TAT透明导电薄膜光电性能的对比 | 第53-56页 |
| 3.4 基于TAT透明电极的光电探测器性能探究 | 第56-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 TiO_2/AgO_x/TiO_2(TAOT)透明导电薄膜的制备及性能研究 | 第60-70页 |
| 4.1 前言 | 第60页 |
| 4.2 TAOT透明导电薄膜的制备参数 | 第60页 |
| 4.3 AgO_x溅射电流对于TAOT透明导电薄膜的影响 | 第60-63页 |
| 4.3.1 AgO_x溅射电流对于TAOT透明导电薄膜导电性能的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.2 AgO_x溅射电流对于TAOT透明导电薄膜透光性能的影响 | 第61-63页 |
| 4.4 AgO_x溅射氧分压对于TAOT透明导电薄膜的影响 | 第63-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 硕士期间发表论文列表 | 第74-75页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第75页 |
