| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 CVD 技术的发展现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 石英玻璃发展概况 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 立式 CVD 石英玻璃生产理论分析与建模 | 第16-27页 |
| 2.1 数学模型 | 第16-18页 |
| 2.2 辐射模型 | 第18-22页 |
| 2.2.1 立体角离散 | 第18-19页 |
| 2.2.2 辐射边界条件的处理 | 第19-22页 |
| 2.3 化学反应模型 | 第22-23页 |
| 2.4 凝固模型 | 第23-24页 |
| 2.5 湍流模型 | 第24页 |
| 2.6 组分传输模型 | 第24-25页 |
| 2.7 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 基于 FLUENT 的立式 CVD 数值模拟计算 | 第27-41页 |
| 3.1 沉积炉的几何模型及简化 | 第27-29页 |
| 3.2 沉积过程中的求解设置 | 第29-34页 |
| 3.2.1 建立模型 | 第29-30页 |
| 3.2.2 材料物化性质的处理 | 第30-33页 |
| 3.2.3 边界条件设置 | 第33-34页 |
| 3.3 计算结果与讨论 | 第34-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 立式 CVD 制石英玻璃工艺的优化设计 | 第41-71页 |
| 4.1 燃烧器结构改进 | 第41-48页 |
| 4.1.1 改用八环燃烧器的设计计算 | 第42-44页 |
| 4.1.2 选用十环燃烧器的设计计算 | 第44-48页 |
| 4.2 对现有方案工艺参数的优化设计 | 第48-54页 |
| 4.3 十环燃烧器炉的设计计算 | 第54-70页 |
| 4.3.1 十环燃烧器喷口入口参数对沉积效果的影响 | 第54-57页 |
| 4.3.2 改变灯距 | 第57-59页 |
| 4.3.3 改善沉积炉结构的设计计算 | 第59-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 附录 | 第78-80页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84页 |