| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 铁电薄膜材料的介绍 | 第10-17页 |
| 1.1.1 铁电薄膜材料的背景 | 第10页 |
| 1.1.2 发展进展和研究意义 | 第10-12页 |
| 1.1.3 铁电薄膜材料结构及分类 | 第12-14页 |
| 1.1.4 铁电薄膜材料的基本特性 | 第14-17页 |
| 1.2 铁电薄膜材料常用的制备方法 | 第17-20页 |
| 1.2.1 溅射法 | 第17-18页 |
| 1.2.2 脉冲激光沉积法(PLD) | 第18页 |
| 1.2.3 分子束外延（MBE） | 第18页 |
| 1.2.4 激光分子束外延法（L-MBE） | 第18-19页 |
| 1.2.5 金属有机化学气相沉积法（MOCVD） | 第19页 |
| 1.2.6 水热法 | 第19页 |
| 1.2.7 溶胶-凝胶法（Sol-Gel） | 第19-20页 |
| 1.3 铁电薄膜的应用 | 第20页 |
| 1.4 课题来源及研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第20-21页 |
| 1.4.2 课题研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 材料及制备方法 | 第22-27页 |
| 2.1 实验材料与制备设备 | 第22-23页 |
| 2.1.1 制备薄膜所需的实验材料 | 第22页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第22-23页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第23-26页 |
| 2.2.1 NKBT前驱体溶液的制备 | 第23页 |
| 2.2.2 PLCT前驱体溶液的制备 | 第23-24页 |
| 2.2.3 LNO前驱体溶液的制备 | 第24页 |
| 2.2.4 衬底处理 | 第24页 |
| 2.2.5 薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.3 薄膜电极制备 | 第26页 |
| 2.4 薄膜的测试与分析 | 第26-27页 |
| 2.4.1 X射线衍射分析 | 第26页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜观察 | 第26页 |
| 2.4.3 电学性能测试 | 第26-27页 |
| 第3章 NKBT/PLCT复合薄膜及PLCT/NKBT多层薄膜的性能研究 | 第27-38页 |
| 3.1 晶化温度对NKBT/PLCT复合薄膜的取向与电性能的影响 | 第27-32页 |
| 3.1.1 不同晶化温度NKBT/PLCT复合薄膜的微结构表征 | 第27-29页 |
| 3.1.2 不同晶化温度NKBT/PLCT复合薄膜的电性能研究 | 第29-32页 |
| 3.2 PLCT/NKBT多层薄膜的界面扩散和热释电性能的研究 | 第32-36页 |
| 3.2.1 PLCT/NKBT多层薄膜的结晶取向分析 | 第32-33页 |
| 3.2.2 PLCT/NKBT多层薄膜的界面扩散研究 | 第33-34页 |
| 3.2.3 PLCT/NKBT多层薄膜漏电流特性及热释电性能分析 | 第34-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 高(100)取向的NKBT/LNO复合薄膜的电性能研究 | 第38-46页 |
| 4.1 纯NKBT薄膜与NKBT/LNO薄膜的表征分析 | 第38-41页 |
| 4.2 纯NKBT薄膜与NKBT/LNO薄膜的界面扩散分析 | 第41页 |
| 4.3 纯NKBT薄膜与NKBT/LNO薄膜的电性能的研究 | 第41-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
