石墨烯辅助玻璃基集成光学器件的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-39页 |
| 1.1 前言 | 第13-14页 |
| 1.2 玻璃基离子交换工艺 | 第14-19页 |
| 1.3 石墨烯的电学和光学特性 | 第19-21页 |
| 1.3.1 电学特性 | 第20页 |
| 1.3.2 光学特性 | 第20-21页 |
| 1.4 石墨烯混合波导光电子器件 | 第21-31页 |
| 1.4.1 基于石墨烯混合波导的光起偏器 | 第21-24页 |
| 1.4.2 基于石墨烯混合波导光探测器 | 第24-28页 |
| 1.4.3 基于石墨烯混合波导光调制器 | 第28-31页 |
| 1.5 本文的研究意义和结构 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-39页 |
| 第二章 玻璃基选择掩埋波导 | 第39-63页 |
| 2.1 前言 | 第39-40页 |
| 2.2 选择掩埋波导形成理论 | 第40-45页 |
| 2.2.1 离子交换工艺 | 第40-41页 |
| 2.2.2 模型仿真 | 第41-45页 |
| 2.3 选择掩埋波导的制作 | 第45-50页 |
| 2.3.1 工艺流程 | 第45-47页 |
| 2.3.2 背面介电材料的选择 | 第47-49页 |
| 2.3.3 选择掩埋波导芯片的设计 | 第49-50页 |
| 2.4 选择掩埋波导的结果与分析 | 第50-57页 |
| 2.4.1 掩埋深度和过渡区域的结果与分析 | 第50-53页 |
| 2.4.2 插入损耗的测试结果与分析 | 第53-57页 |
| 2.5 基于选择掩埋波导的传感器的制作与分析 | 第57-60页 |
| 2.5.1 模型仿真 | 第57-59页 |
| 2.5.2 温度传感器的制作与分析 | 第59-60页 |
| 2.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第三章 石墨烯/玻璃混合波导光起偏器 | 第63-87页 |
| 3.1 前言 | 第63页 |
| 3.2 光起偏器的理论分析 | 第63-71页 |
| 3.2.1 石墨烯的折射率 | 第63-66页 |
| 3.2.2 光起偏器模型仿真 | 第66-71页 |
| 3.3 光起偏器的制作 | 第71-74页 |
| 3.4 光起偏器参数优化 | 第74-81页 |
| 3.4.1 波导结构的选择 | 第74页 |
| 3.4.2 制作工艺的选择 | 第74-78页 |
| 3.4.3 掩埋深度和波导宽度的优化 | 第78-79页 |
| 3.4.4 石墨烯长度的优化 | 第79-81页 |
| 3.5 光起偏器的光学特性 | 第81-83页 |
| 3.6 本章小结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 第四章 石墨烯/玻璃混合波导光探测器 | 第87-110页 |
| 4.1 前言 | 第87-88页 |
| 4.2 光探测器的理论分析 | 第88-92页 |
| 4.2.1 金属掺杂结光探测器 | 第89-90页 |
| 4.2.2 光敏电阻型光探测器 | 第90-92页 |
| 4.3 光探测器的设计与制作 | 第92-96页 |
| 4.3.1 光探测器的设计 | 第92-95页 |
| 4.3.2 光探测器的制作 | 第95-96页 |
| 4.4 光探测器的结果与分析 | 第96-106页 |
| 4.4.1 金属掺杂结探测器 | 第97-103页 |
| 4.4.2 光敏电阻型光探测器 | 第103-106页 |
| 4.5 本章小结 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 第五章 总结与展望 | 第110-113页 |
| 5.1 总结 | 第110-111页 |
| 5.2 工作中存在的不足与展望 | 第111-113页 |
| 攻读博士期间的科研成果 | 第113页 |
