| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第13-17页 |
| 1.2.1 压电陶瓷力输出特性测试技术研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.2 基于微纳米级精密定位的测试仪器研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 国内外研究现状的简析 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 压电陶瓷力输出特性及测量方法研究 | 第19-27页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 压电陶瓷力输出模型的研究 | 第19-21页 |
| 2.2.1 压电陶瓷力输出特性模型 | 第19-21页 |
| 2.2.2 影响压电陶瓷力输出因素分析 | 第21页 |
| 2.3 传统测量方法及其存在的问题分析 | 第21-24页 |
| 2.3.1 传统测量方法原理 | 第22-23页 |
| 2.3.2 传统压电陶瓷力输出测量方法的分析 | 第23-24页 |
| 2.4 主动式测量方法 | 第24-26页 |
| 2.4.1 主动式测量方法原理 | 第24-25页 |
| 2.4.2 主动式测量方法的优点 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 基于压电驱动的测试系统的设计 | 第27-42页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 压电陶瓷力输出测试系统的结构设计 | 第27-36页 |
| 3.2.1 测试装置结构设计 | 第27-28页 |
| 3.2.2 长方形压电陶瓷片保持架设计 | 第28-30页 |
| 3.2.3 环状压电陶瓷的保持架设计 | 第30-32页 |
| 3.2.4 微动装置的结构设计 | 第32页 |
| 3.2.5 柔性铰链结构的设计与仿真 | 第32-36页 |
| 3.3 控制与分析系统建立 | 第36-38页 |
| 3.3.1 控制系统的功能分析 | 第36-37页 |
| 3.3.2 上位机软件开发 | 第37-38页 |
| 3.4 压电陶瓷力输出特性测试系统搭建 | 第38-39页 |
| 3.5 压电陶瓷力输出特性测试装置的性能测试 | 第39-41页 |
| 3.5.1 位移输出特性测试 | 第39-41页 |
| 3.5.2 力输出性能测试 | 第41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 压电陶瓷力输出特性测试实验 | 第42-60页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 压电陶瓷叠堆的力输出特性测试 | 第42-46页 |
| 4.2.1 压电陶瓷叠堆力输出与位移输出的关系测试 | 第42-44页 |
| 4.2.2 压电陶瓷叠堆力输出与电压的关系测试 | 第44-46页 |
| 4.2.3 误差分析 | 第46页 |
| 4.3 长方形压电陶瓷片力输出特性测试 | 第46-51页 |
| 4.3.1 长方形压电陶瓷片的力学特性测试 | 第46-47页 |
| 4.3.2 长方形压电陶瓷片电压位移输出性质测试 | 第47-48页 |
| 4.3.3 长方形压电陶瓷片力输出与位移输出的关系测试 | 第48-50页 |
| 4.3.4 长方形压电陶瓷片力输出与电压的关系测试 | 第50-51页 |
| 4.3.5 误差分析 | 第51页 |
| 4.4 环状压电陶瓷片力输出特性测试 | 第51-58页 |
| 4.4.1 环状压电陶瓷片工作状态（收缩）力输出特性测试方法 | 第51-52页 |
| 4.4.2 环状压电陶瓷片力输出与位移输出的关系测试 | 第52-54页 |
| 4.4.3 环状压电陶瓷片力输出与电压的关系测试 | 第54-55页 |
| 4.4.4 不同直径方向压电陶瓷力输出特性 | 第55-56页 |
| 4.4.5 误差分析 | 第56-58页 |
| 4.5 三种陶瓷力输出特性对比分析 | 第58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
