阻变存储阵列测量系统研究与实现
中文摘要 | 第10-11页 |
ABSTRACT | 第11页 |
第一章 绪论 | 第12-19页 |
1.1 课题研究背景与意义 | 第12-15页 |
1.2 半导体参数测量设备研究现状 | 第15-16页 |
1.3 课题主要研究内容 | 第16-17页 |
1.4 论文组织结构安排 | 第17-19页 |
第二章 阻变存储阵列原理与测量方法 | 第19-38页 |
2.1 阻变存储器 | 第19-23页 |
2.1.1 阻变存储器简介 | 第19-20页 |
2.1.2 阻变存储器电阻转变机理 | 第20-21页 |
2.1.3 阻变存储器单元结构 | 第21-23页 |
2.2 阻变存储器电学测量参数与指标 | 第23-25页 |
2.2.1 操作电压 | 第23页 |
2.2.2 操作电流 | 第23-24页 |
2.2.3 开关比 | 第24页 |
2.2.4 耐受性 | 第24页 |
2.2.5 保持特性 | 第24页 |
2.2.6 操作速度 | 第24-25页 |
2.3 阻变存储器操作 | 第25-28页 |
2.3.1 基本操作 | 第25-27页 |
2.3.2 阻变存储器操作模式 | 第27-28页 |
2.4 阻变存储器测量方案 | 第28-37页 |
2.4.1 测量方法总结 | 第28-31页 |
2.4.2 限流方法 | 第31页 |
2.4.3 测量要求 | 第31-32页 |
2.4.4 测试方案与步骤 | 第32-37页 |
2.5 本章小结 | 第37-38页 |
第三章 阻变存储阵列测量系统设计与实现 | 第38-58页 |
3.1 系统总体架构设计 | 第38-39页 |
3.1.1 系统设计要求 | 第38页 |
3.1.2 总体系统设计思路 | 第38-39页 |
3.2 上位机系统PTS | 第39-41页 |
3.2.1 上位机工作原理 | 第39-40页 |
3.2.2 通信协议及命令格式 | 第40-41页 |
3.3 DPM模块设计 | 第41-46页 |
3.3.1 DPM电路模块 | 第41-42页 |
3.3.2 DPM功能设计 | 第42页 |
3.3.3 时钟输出模块 | 第42-43页 |
3.3.4 通信模块 | 第43页 |
3.3.5 波形发生模块 | 第43-44页 |
3.3.6 数据采集模块 | 第44页 |
3.3.7 驱动控制模块 | 第44-45页 |
3.3.8 DPM功能实现 | 第45-46页 |
3.4 DCM模块电路设计 | 第46-49页 |
3.4.1 DCM工作原理 | 第46页 |
3.4.2 DAC输出激励电路 | 第46-47页 |
3.4.3 ADC输入测量电路 | 第47页 |
3.4.4 DCM电路实现 | 第47-49页 |
3.5 应用电路模块APPM设计 | 第49-57页 |
3.5.1 APPM工作原理 | 第49-51页 |
3.5.2 测量单元电路设计 | 第51-53页 |
3.5.3 模拟开关驱动电路设计 | 第53-54页 |
3.5.4 继电器驱动电路设计 | 第54-55页 |
3.5.5 信号传输 | 第55-56页 |
3.5.6 APPM电路实现 | 第56-57页 |
3.6 本章小结 | 第57-58页 |
第四章 系统实测与优化分析 | 第58-76页 |
4.1 总体系统测试平台 | 第58-62页 |
4.1.1 整体测试环境和平台简介 | 第59-61页 |
4.1.2 上位机软件 | 第61-62页 |
4.2 系统输出信号与输入测量校准 | 第62-64页 |
4.2.1 激励信号输出波形测试 | 第62-63页 |
4.2.2 输出电压校准与优化 | 第63页 |
4.2.3 采样校准及优化 | 第63-64页 |
4.3 测量系统负载测试 | 第64-68页 |
4.3.1 电阻负载测试结果 | 第65-66页 |
4.3.2 二极管负载测试结果 | 第66-68页 |
4.3.3 测试结果分析 | 第68页 |
4.4 1R存储单元测量 | 第68-75页 |
4.4.1 直流操作 | 第69-72页 |
4.4.2 Pulse变幅度操作 | 第72-74页 |
4.4.3 1R测试结果分析 | 第74-75页 |
4.5 系统性能评估 | 第75页 |
4.6 本章小结 | 第75-76页 |
第五章 结论 | 第76-78页 |
5.1 课题总结 | 第76页 |
5.2 不足与展望 | 第76-78页 |
参考文献 | 第78-80页 |
致谢 | 第80-81页 |
攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第81-82页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第82页 |