| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外 X-Y 精密调整装置及技术研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 精密 X-Y 调整技术及装置的发展趋势 | 第13页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 传统基于弹簧回复结构的调整定位工作台 | 第15-30页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 典型 X-Y 定位工作台的物理模型 | 第15-16页 |
| 2.3 基于弹簧回复结构的调整定位工作台的物理模型 | 第16-18页 |
| 2.4 基于弹簧回复结构工作台滚动摩擦层力学特性分析 | 第18-22页 |
| 2.5 基于弹簧回复结构的调整定位工作台螺杆受力分析 | 第22-25页 |
| 2.6 基于弹簧回复结构的调整定位工作台水平刚度分析 | 第25-28页 |
| 2.7 基于弹簧回复结构的调整工作台整体参数性能分析 | 第28-29页 |
| 2.8 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 改进的基于恒定刚度的调整定位结构 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 X-Y 二维调整定位工作台的设计原理与方案 | 第30-33页 |
| 3.2.1 X-Y 二维调整定位工作台的改进设计思想 | 第30-32页 |
| 3.2.2 改进的 X-Y 二维调整定位工作台原理 | 第32页 |
| 3.2.3 改进的 X-Y 二维调整定位工作台物理模型 | 第32-33页 |
| 3.3 改进的 X-Y 二维调整定位工作台的结构分析 | 第33-38页 |
| 3.3.1 改进的调整定位工作台螺杆受力分析 | 第33-34页 |
| 3.3.2 改进的 X-Y 二维调整定位工作台刚度分析 | 第34-36页 |
| 3.3.3 碟簧的选择 | 第36-38页 |
| 3.4 改进的 X-Y 二维调整定位工作台整体性能分析 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 实验验证与结果分析 | 第40-67页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 电感测微仪标定及测试 | 第40-43页 |
| 4.2.1 电感测微仪标定 | 第40-42页 |
| 4.2.2 电感测微仪稳定性测试 | 第42-43页 |
| 4.3 基于弹簧回复结构的调整定位工作台性能验证 | 第43-54页 |
| 4.3.1 刚度实验及结果分析 | 第43-46页 |
| 4.3.2 位移灵敏度与载荷实验及结果分析 | 第46-53页 |
| 4.3.3 稳定性实验及结果分析 | 第53-54页 |
| 4.4 改进的 X-Y 二维调整定位工作台性能验证 | 第54-65页 |
| 4.4.1 刚度实验及结果分析 | 第54-57页 |
| 4.4.2 位移灵敏度与载荷实验及结果分析 | 第57-63页 |
| 4.4.3 稳定性实验及结果分析 | 第63-65页 |
| 4.5 两种工作台性能对比 | 第65-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
