| 学位论文的主要创新点 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 论文的研究背景 | 第9-18页 |
| 1.1.1 阵列波导光栅解调集成微系统 | 第9-10页 |
| 1.1.2 垂直腔面发射激光器 | 第10-15页 |
| 1.1.3 光栅耦合器 | 第15-18页 |
| 1.2 论文的研究目的和意义 | 第18-19页 |
| 1.3 论文的主要研究内容及章节安排 | 第19-21页 |
| 第二章 VCSEL与光栅耦合器的基本理论及计算方法 | 第21-33页 |
| 2.1 VCSEL的基本理论及计算方法 | 第21-27页 |
| 2.1.1 VCSEL的基本结构 | 第22-25页 |
| 2.1.2 VCSEL的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.1.3 VCSEL的阈值激射条件 | 第26-27页 |
| 2.1.4 VCSEL的单纵模工作条件 | 第27页 |
| 2.2 光栅耦合器的基本理论及计算方法 | 第27-31页 |
| 2.2.1 光栅耦合器的基本结构 | 第27-28页 |
| 2.2.2 光栅的布拉格条件 | 第28-29页 |
| 2.2.3 时域有限差分方法 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 VCSEL的设计及模拟 | 第33-53页 |
| 3.1 VCSEL的理论设计及数值模拟 | 第33-37页 |
| 3.1.1 DBR的设计与分析 | 第33-34页 |
| 3.1.2 谐振腔的设计与分析 | 第34-37页 |
| 3.2 VCSEL的整体结构分析 | 第37-52页 |
| 3.2.1 VCSEL整体结构的理论设计 | 第37-40页 |
| 3.2.2 VCSEL整体结构的数值模拟 | 第40-52页 |
| 3.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 VCSEL与光栅耦合器的集成 | 第53-65页 |
| 4.1 VCSEL与均匀光栅耦合器的集成 | 第53-59页 |
| 4.1.1 均匀光栅耦合器的理论设计 | 第53-57页 |
| 4.1.2 VCSEL与均匀光栅耦合器集成的设计与模拟 | 第57-59页 |
| 4.2 VCSEL与二元光栅耦合器的集成 | 第59-63页 |
| 4.2.1 二元光栅耦合器的理论设计 | 第59-60页 |
| 4.2.2 VCSEL与二元光栅耦合器集成的设计与模拟 | 第60-63页 |
| 4.3 两种集成设计的比较与分析 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 VCSEL与光栅耦合器集成的制备和测试 | 第65-81页 |
| 5.1 VCSEL与光栅耦合器的材料选择 | 第65-66页 |
| 5.2 VCSEL与光栅耦合器的制备 | 第66-70页 |
| 5.2.1 光栅耦合器的制备方法及步骤 | 第66-67页 |
| 5.2.2 VCSEL的制备方法及步骤 | 第67-70页 |
| 5.3 器件的对准及封装 | 第70-75页 |
| 5.3.1 VCSEL与SOI芯片的键合 | 第71-73页 |
| 5.3.2 SOI芯片与PCB板固定 | 第73-74页 |
| 5.3.3 在PCB板上绑定金线 | 第74-75页 |
| 5.4 VCSEL与光栅耦合器集成的测试 | 第75-79页 |
| 5.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
