基于Mach-Zehnder干涉仪的聚合物热光模式开关研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 模式开关发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 聚合物光波导材料简介 | 第15-16页 |
| 1.4 论文的内容结构编排 | 第16-17页 |
| 第二章 理论分析与器件设计 | 第17-30页 |
| 2.1 光波导中模式的定义 | 第17-19页 |
| 2.2 条形波导中的模式分析 | 第19-23页 |
| 2.3 聚合物光波导材料的热光效应 | 第23-25页 |
| 2.4 平面结构的MZI聚合物热光模式开关的设计 | 第25-27页 |
| 2.4.1 平面结构的MZI模式转换的仿真 | 第25-26页 |
| 2.4.2 器件的波长特性分析 | 第26-27页 |
| 2.5 三维结构的MZI聚合物热光模式开关的设计 | 第27-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 平面结构的MZI聚合物热光模式开关的制作 | 第30-37页 |
| 3.1 掩模板设计 | 第30-31页 |
| 3.1.1 MZI结构的波导掩模板设计 | 第30-31页 |
| 3.1.2 单层MZI结构的电极掩模板设计 | 第31页 |
| 3.2 平面波导及电极制作工艺流程 | 第31-36页 |
| 3.2.1 平面波导制作工艺 | 第31-34页 |
| 3.2.2 电极制作工艺 | 第34-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 平面结构的MZI聚合物热光模式开关的测试 | 第37-44页 |
| 4.1 近场光斑测试 | 第37-40页 |
| 4.2 偏振特性测试分析 | 第40-41页 |
| 4.3 传输损耗和插入损耗测量 | 第41-42页 |
| 4.4 波长特性测试分析 | 第42-43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 三维结构的MZI聚合物热光模式开关的制作 | 第44-52页 |
| 5.1 掩模板设计 | 第44-46页 |
| 5.1.1 三维MZI结构的波导掩模板设计 | 第44-45页 |
| 5.1.2 三维MZI结构的电极掩模板设计 | 第45-46页 |
| 5.2 三维波导及电极制作工艺流程 | 第46-51页 |
| 5.2.1 三维波导制作工艺 | 第46-50页 |
| 5.2.2 三维结构器件的电极制作工艺 | 第50-51页 |
| 5.3 近场光斑测试 | 第51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 6.1 总结 | 第52页 |
| 6.2 改进与展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
