| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 引言 | 第15-17页 |
| 1.2 研磨阶段检测技术介绍 | 第17-22页 |
| 1.2.1 三坐标轮廓测量技术 | 第17-18页 |
| 1.2.2 红外干涉检测技术 | 第18-19页 |
| 1.2.3 夏克-哈特曼检测技术 | 第19页 |
| 1.2.4 条纹反射法检测技术 | 第19-20页 |
| 1.2.5 激光跟踪仪测量技术 | 第20-21页 |
| 1.2.6 摆臂式轮廓测量技术 | 第21-22页 |
| 1.3 国内外摆臂式轮廓检测技术现状 | 第22-27页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第27-31页 |
| 第2章 摆臂式轮廓仪装调误差分析 | 第31-55页 |
| 2.1 检测原理 | 第31-33页 |
| 2.2 面形重构算法 | 第33-37页 |
| 2.2.1 数据预处理 | 第33-34页 |
| 2.2.2 扫描线交点坐标计算 | 第34-37页 |
| 2.2.3 系统误差解算准则 | 第37页 |
| 2.3 装调误差分析模型 | 第37-40页 |
| 2.4 针对同轴非球面SAP检测的装调误差解析分析 | 第40-47页 |
| 2.4.1 反射镜中心位置偏差 | 第40-41页 |
| 2.4.2 臂长L的误差 | 第41-42页 |
| 2.4.3 倾斜角偏差 | 第42页 |
| 2.4.4 气浮转台的旋转角度误差 δβ | 第42-43页 |
| 2.4.5 气浮转台位置偏差 | 第43-47页 |
| 2.52m口径同轴抛物面装调误差计算 | 第47-53页 |
| 2.5.1 臂长测量误差 | 第47-49页 |
| 2.5.2 气浮转台旋转角度滞后 δβ | 第49-50页 |
| 2.5.3 气浮转台绕X2轴旋转误差 | 第50页 |
| 2.5.4 气浮转台沿Y2方向的位移偏差 | 第50-51页 |
| 2.5.5 装调允差小结 | 第51-52页 |
| 2.5.6 装调误差实验验证 | 第52-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第3章 系统误差及敏感性分析 | 第55-75页 |
| 3.1 系统误差分析 | 第55-58页 |
| 3.1.1 位移传感器线性度误差 | 第55页 |
| 3.1.2 气浮转台跳动误差 | 第55-56页 |
| 3.1.3 测量臂弹性弯曲误差 | 第56-58页 |
| 3.2 误差标定 | 第58-64页 |
| 3.2.1 位移传感器误差标定 | 第58-60页 |
| 3.2.2 气浮转台跳动误差标定 | 第60-64页 |
| 3.3 系统仿真检测的模型建立 | 第64页 |
| 3.4 选择不同条数的扫描轮廓线进行检测的误差敏感性 | 第64-70页 |
| 3.4.1 蒙特卡洛仿真计算 | 第65-67页 |
| 3.4.2 实验验证 | 第67-69页 |
| 3.4.3 小结 | 第69-70页 |
| 3.5 重构算法求解不同频段面形误差的敏感性 | 第70-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 高精度电容测头的摆臂式轮廓检测 | 第75-89页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 电容式位移传感器简介 | 第75-79页 |
| 4.2.1 电容式位移传感器检测原理 | 第75-76页 |
| 4.2.2 测头相对倾斜误差分析 | 第76-79页 |
| 4.3 系统误差分析及标定 | 第79-82页 |
| 4.3.1 环境温度变化对测头读数的影响 | 第80-81页 |
| 4.3.2 线性度误差标定 | 第81-82页 |
| 4.4 1000 ? 800mm反射镜检测 | 第82-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-89页 |
| 第5章 多测头双位置拼接式摆臂式轮廓检测 | 第89-105页 |
| 5.1 引言 | 第89页 |
| 5.2 多测头分离系统误差的技术研究 | 第89-94页 |
| 5.2.1 双测头分离气浮转台误差 | 第89-91页 |
| 5.2.2 第三个测头实时检测系统振动 | 第91-94页 |
| 5.3 双位置拼接式检测方案制定 | 第94-104页 |
| 5.3.1 检测模式选择 | 第94-97页 |
| 5.3.2 双测头臂长优化选择 | 第97-103页 |
| 5.3.3 双测头同异端分析 | 第103-104页 |
| 5.4 本章小结 | 第104-105页 |
| 第6章 摆臂式轮廓检测技术在大口径复杂光学曲面检测中的应用 | 第105-115页 |
| 6.1 概述 | 第105页 |
| 6.2 检测数据处理软件编写 | 第105-106页 |
| 6.3 大口径复杂光学曲面的摆臂式轮廓测量应用实例 | 第106-114页 |
| 6.3.1 应用于口径 1.6 m的平面镜的面形测量 | 第106-108页 |
| 6.3.2 口径 1.5m的离轴SiC非球面面形检测 | 第108-110页 |
| 6.3.3 口径 2m的同轴抛物面面形检测 | 第110-114页 |
| 6.4 本章小结 | 第114-115页 |
| 第7章 总结与展望 | 第115-117页 |
| 附录 | 第117-123页 |
| 附录I 本文涉及的Zernike像差 | 第117-119页 |
| 附录II 采用Matlab软件fft函数分析摆臂式轮廓检测采样数据 | 第119-123页 |
| 1 时域信号 | 第119页 |
| 2 Matlab软件的fft函数 | 第119-121页 |
| 3 摆臂式轮廓检测中单条扫描轮廓线采样数据 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
