| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·几种激光器的介绍 | 第8-15页 |
| ·FP-LD介绍 | 第8-10页 |
| ·DFB-LD介绍 | 第10-12页 |
| ·DBR-LD介绍 | 第12-13页 |
| ·VCSEL-LD介绍 | 第13页 |
| ·外腔式激光器介绍 | 第13-14页 |
| ·各类激光器调谐方式比较 | 第14-15页 |
| ·基于InN器件的研究进展 | 第15-16页 |
| ·本文的研究目的和意义 | 第16-17页 |
| 第二章 相关背景知识介绍 | 第17-27页 |
| ·概述InN的基本性质 | 第17-20页 |
| ·InN材料的晶体结构及物理性质 | 第18页 |
| ·InN材料的电学性质 | 第18-19页 |
| ·InN材料的光学性质 | 第19-20页 |
| ·DFB-LD的基本理论和等效理论分析模型 | 第20-25页 |
| ·麦克斯韦方程 | 第20-21页 |
| ·DFB-LD基本理论 | 第21-22页 |
| ·耦合波分析理论 | 第22-24页 |
| ·DFB-LD振荡条件 | 第24-25页 |
| ·等效介质平板波导理论 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于InN的DFB-LD谐振腔结构设计与模拟分析 | 第27-42页 |
| ·基于InN的DFB激光器的软件建模 | 第27-32页 |
| ·COMSOL Multiphysics软件介绍及建模流程 | 第27-29页 |
| ·DFB-LD谐振腔参数设置 | 第29-30页 |
| ·激光器光栅谐振腔模型建立 | 第30-32页 |
| ·优化与分析DFB-LD谐振腔结构参数 | 第32-37页 |
| ·优化后谐振腔的性能介绍 | 第32-33页 |
| ·有源层厚度的影响 | 第33-36页 |
| ·光栅深度的影响 | 第36-37页 |
| ·光栅周期的影响 | 第37页 |
| ·结构参数对波长的影响 | 第37-41页 |
| ·光栅周期对激射波长的影响 | 第38-40页 |
| ·光栅深度对激射波长的影响 | 第40-41页 |
| ·有源层厚度对激射波长的影响 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 MEMS集成可调谐DFB-LD结构设计与仿真 | 第42-58页 |
| ·可调谐微机电系统装置的设计 | 第42-48页 |
| ·微机电系统概述 | 第42-43页 |
| ·InN材料的机械特性 | 第43-44页 |
| ·驱动方式的介绍 | 第44页 |
| ·微机电技术可调谐方法设计 | 第44-45页 |
| ·静电致动器原理 | 第45-48页 |
| ·InN可调谐DFB-LD结构设计与模拟仿真 | 第48-57页 |
| ·InN可调DFB-LD的制作结构设计 | 第48-49页 |
| ·静电驱动器可调装置的制作工艺及要求 | 第49-51页 |
| ·InN光栅周期可调DFB-LD模拟分析 | 第51-53页 |
| ·设计调谐装置尺寸及输入电压 | 第53-55页 |
| ·基于InN光栅周期可调装置的可行性探讨及仿真 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·论文总结 | 第58-59页 |
| ·进一步工作 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第63-64页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第64-65页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
