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高精度微小角位移激光测试

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-13页
   ·角度测量研究的背景第10页
   ·角度测量的发展情况第10-12页
   ·课题研究的意义第12页
   ·本章小结第12-13页
第二章 激光测角技术第13-22页
   ·激光及特性第13-15页
   ·激光的应用第15-16页
     ·工业领域第15页
     ·军事领域第15-16页
     ·激光通信第16页
     ·激光在医疗上的应用第16页
   ·微角位移测试的光学方法第16-21页
     ·光学自准直法第16-18页
     ·光学三角法第18-20页
     ·激光干涉法第20-21页
   ·本章小结第21-22页
第三章 位置探测器第22-38页
   ·PSD位置探测器第22-25页
     ·一维PSD的结构和工作原理第23-24页
     ·二维PSD的结构和工作原理第24-25页
     ·PSD的应用第25页
   ·四象限位置探测器第25-28页
     ·四象限位置探测器的结构与原理第25-27页
     ·四象限位置探测器性能参数对精确度的影响第27-28页
   ·PSD信号处理电路第28-32页
     ·PSD常规信号处理电路第28-31页
     ·一维PSD对中处理电路第31-32页
   ·影响PSD测量精度的误差分析第32-37页
     ·暗电流对PSD输出信号的影响第32-33页
     ·背景光对PSD输出信号的影响第33-34页
     ·光束质量对测量精度的影响第34页
     ·PSD的非线性误差第34页
     ·激光入射角度对PSD输出信号的影响第34-37页
   ·本章小结第37-38页
第四章 激光振镜角位移测试方法第38-45页
   ·振镜及应用第38-40页
     ·振镜的结构第38-39页
     ·二维振镜扫描系统的原理第39-40页
   ·激光振镜、一维PSD微角位移测试系统第40-43页
     ·激光振镜、一维PSD微角位移测试系统设计的必要性第40-41页
     ·激光振镜、一维PSD微角位移测试系统设计的构成第41-43页
   ·两种型号振镜技术参数第43-44页
   ·本章小结第44-45页
第五章 激光振镜、一维PSD微角位移测试方法第45-49页
   ·二维振镜测量微角位移第45-47页
   ·一维振镜测量微角位移第47-48页
   ·本章小结第48-49页
第六章 全文总结及展望第49-52页
   ·全文总结第49-50页
   ·创新性及展望第50-52页
参考文献第52-55页
攻读硕士期间发表论文第55-56页
致谢第56-57页

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