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氧化银薄膜的制备和相关性质研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
1 绪论第9-14页
   ·研究背景第9-11页
   ·氧化银薄膜的热分解原理第11-12页
   ·研究现状第12-13页
   ·本论文的主要研究内容第13-14页
2 Ag_xO薄膜的制备与表征方法第14-19页
   ·Ag_xO薄膜的制备第14-16页
     ·磁控溅射的基本原理第14-15页
     ·磁控溅射的分类第15-16页
   ·Ag_xO薄膜的表征第16-19页
3 沉积参数对Ag_xO薄膜微结构和光学性质的影响第19-34页
   ·反应气压对Ag_xO薄膜微结构的影响第19-24页
   ·溅射功率对Ag_xO薄膜微结构的影响第24-28页
   ·反应气压对Ag_xO薄膜光学性质的影响第28-30页
   ·溅射功率对Ag_xO薄膜光学性质的影响第30-33页
   ·小结第33-34页
4 单相Ag_2O薄膜热稳定性的研究第34-41页
   ·真空环境下热处理温度对Ag_2O微结构和光学性质的影响第34-40页
     ·热处理温度对Ag_2O薄膜晶体结构的影响第35-37页
     ·热处理温度对Ag_2O薄膜表面形貌的影响第37-38页
     ·热处理温度对Ag_2O薄膜光学性质的影响第38-40页
   ·小结第40-41页
5 总结第41-43页
参考文献第43-46页
个人简历与发表论文第46-47页
致谢第47页

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