摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-7页 |
目录 | 第7-9页 |
1 绪论 | 第9-14页 |
·研究背景 | 第9-11页 |
·氧化银薄膜的热分解原理 | 第11-12页 |
·研究现状 | 第12-13页 |
·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
2 Ag_xO薄膜的制备与表征方法 | 第14-19页 |
·Ag_xO薄膜的制备 | 第14-16页 |
·磁控溅射的基本原理 | 第14-15页 |
·磁控溅射的分类 | 第15-16页 |
·Ag_xO薄膜的表征 | 第16-19页 |
3 沉积参数对Ag_xO薄膜微结构和光学性质的影响 | 第19-34页 |
·反应气压对Ag_xO薄膜微结构的影响 | 第19-24页 |
·溅射功率对Ag_xO薄膜微结构的影响 | 第24-28页 |
·反应气压对Ag_xO薄膜光学性质的影响 | 第28-30页 |
·溅射功率对Ag_xO薄膜光学性质的影响 | 第30-33页 |
·小结 | 第33-34页 |
4 单相Ag_2O薄膜热稳定性的研究 | 第34-41页 |
·真空环境下热处理温度对Ag_2O微结构和光学性质的影响 | 第34-40页 |
·热处理温度对Ag_2O薄膜晶体结构的影响 | 第35-37页 |
·热处理温度对Ag_2O薄膜表面形貌的影响 | 第37-38页 |
·热处理温度对Ag_2O薄膜光学性质的影响 | 第38-40页 |
·小结 | 第40-41页 |
5 总结 | 第41-43页 |
参考文献 | 第43-46页 |
个人简历与发表论文 | 第46-47页 |
致谢 | 第47页 |