目录 | 第1-6页 |
摘要 | 第6-8页 |
Abstract | 第8-11页 |
第一部分 紫外/热压固化多功能纳米压印机的研制 | 第11-37页 |
第一章 纳米压印技术及其应用特点 | 第11-17页 |
参考文献 | 第15-17页 |
第二章 紫外/热压固化多功能纳米压印机研制 | 第17-35页 |
第一节 多功能纳米压印机的研制背景与特色 | 第17-18页 |
第二节 多功能纳米压印机的功能体系设计 | 第18-22页 |
第三节 多功能纳米压印机的结构单元与零部件设计与加工 | 第22-30页 |
第四节 多功能纳米压印机整机与外观设计 | 第30-32页 |
第五节 多功能纳米压印机具体应用实例 | 第32-35页 |
第三章 结论与总结 | 第35-37页 |
第二部分 基于纳米压印技术的自支撑金透射光栅的设计与研制 | 第37-67页 |
第一章 金属自支撑透射光栅 | 第37-43页 |
第一节 研究背景与意义 | 第37-41页 |
第二节 金属自支撑透射光栅的结构设计 | 第41-43页 |
第二章 基于纳米压印技术的200 nm周期金自支撑透射光栅的制备技术与工艺 | 第43-53页 |
第一节 纳米压印技术制备200 nm周期自支撑透射金光栅的工艺流程设计 | 第43-45页 |
第二节 纳米压印技术制备光栅图案 | 第45-48页 |
第三节 金透射光栅的制备 | 第48-50页 |
第四节 金属支撑结构的制备 | 第50-53页 |
第三章 200 nm周期金自支撑透射光栅样品的测试与表征 | 第53-64页 |
第一节 金自支撑透射光栅样品表面结构表征与分析 | 第53-58页 |
第二节 金自支撑透射光栅样品的软X射线衍射效率的测试与分析 | 第58-64页 |
第四章 结论与总结 | 第64-65页 |
参考文献 | 第65-67页 |
第三部分 一维光子晶体/金属薄膜结构中表面电磁波物理特性的研究 | 第67-113页 |
第一章 导言 | 第67-75页 |
参考文献 | 第71-75页 |
第二章 一维光子晶体表面场增强与局域表面模 | 第75-82页 |
第一节 一维光子晶体能带结构 | 第75-77页 |
第二节 有限周期一维光子晶体的局域表面模 | 第77-81页 |
·有限周期一维光子晶体的局域场表面增强效应 | 第77-79页 |
·有限周期1DPC的表面模色散关系 | 第79-81页 |
参考文献 | 第81-82页 |
第三章 一维光子晶体/金属薄膜结构中的表面模与表面波 | 第82-110页 |
第一节 一维光子晶体/金属薄膜结构中的表面模 | 第82-89页 |
·问题的提出 | 第82-85页 |
·1DPC/金属薄膜结构的表面模与场分布 | 第85-89页 |
第二节 一维光子晶体/金属薄膜结构参数对表面模与表面波的影响 | 第89-99页 |
·1DPC/金属银薄膜结构中TE和TM表面模和表面波的透射谱模拟 | 第90-95页 |
·1DPC/金属银薄膜结构中TE和TM表面模和表面波的反射谱与角谱模拟研究 | 第95-99页 |
第三节 一维光子晶体/金属薄膜结构表面模与表面波的实验研究 | 第99-110页 |
·1DPC/金属薄膜结构设计与制备的实验方法 | 第99-102页 |
·1DPC/金属薄膜结构样品的透射谱及其分析 | 第102-110页 |
第四章 结论与总结 | 第110-113页 |
参考文献 | 第112-113页 |
攻读博士学位期间已发表的论文 | 第113-115页 |
致谢 | 第115-116页 |