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多功能纳米压印机的研制及其在自支撑光栅制备中的应用

目录第1-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-11页
第一部分 紫外/热压固化多功能纳米压印机的研制第11-37页
 第一章 纳米压印技术及其应用特点第11-17页
  参考文献第15-17页
 第二章 紫外/热压固化多功能纳米压印机研制第17-35页
  第一节 多功能纳米压印机的研制背景与特色第17-18页
  第二节 多功能纳米压印机的功能体系设计第18-22页
  第三节 多功能纳米压印机的结构单元与零部件设计与加工第22-30页
  第四节 多功能纳米压印机整机与外观设计第30-32页
  第五节 多功能纳米压印机具体应用实例第32-35页
 第三章 结论与总结第35-37页
第二部分 基于纳米压印技术的自支撑金透射光栅的设计与研制第37-67页
 第一章 金属自支撑透射光栅第37-43页
  第一节 研究背景与意义第37-41页
  第二节 金属自支撑透射光栅的结构设计第41-43页
 第二章 基于纳米压印技术的200 nm周期金自支撑透射光栅的制备技术与工艺第43-53页
  第一节 纳米压印技术制备200 nm周期自支撑透射金光栅的工艺流程设计第43-45页
  第二节 纳米压印技术制备光栅图案第45-48页
  第三节 金透射光栅的制备第48-50页
  第四节 金属支撑结构的制备第50-53页
 第三章 200 nm周期金自支撑透射光栅样品的测试与表征第53-64页
  第一节 金自支撑透射光栅样品表面结构表征与分析第53-58页
  第二节 金自支撑透射光栅样品的软X射线衍射效率的测试与分析第58-64页
 第四章 结论与总结第64-65页
 参考文献第65-67页
第三部分 一维光子晶体/金属薄膜结构中表面电磁波物理特性的研究第67-113页
 第一章 导言第67-75页
  参考文献第71-75页
 第二章 一维光子晶体表面场增强与局域表面模第75-82页
  第一节 一维光子晶体能带结构第75-77页
  第二节 有限周期一维光子晶体的局域表面模第77-81页
   ·有限周期一维光子晶体的局域场表面增强效应第77-79页
   ·有限周期1DPC的表面模色散关系第79-81页
  参考文献第81-82页
 第三章 一维光子晶体/金属薄膜结构中的表面模与表面波第82-110页
  第一节 一维光子晶体/金属薄膜结构中的表面模第82-89页
   ·问题的提出第82-85页
   ·1DPC/金属薄膜结构的表面模与场分布第85-89页
  第二节 一维光子晶体/金属薄膜结构参数对表面模与表面波的影响第89-99页
   ·1DPC/金属银薄膜结构中TE和TM表面模和表面波的透射谱模拟第90-95页
   ·1DPC/金属银薄膜结构中TE和TM表面模和表面波的反射谱与角谱模拟研究第95-99页
  第三节 一维光子晶体/金属薄膜结构表面模与表面波的实验研究第99-110页
   ·1DPC/金属薄膜结构设计与制备的实验方法第99-102页
   ·1DPC/金属薄膜结构样品的透射谱及其分析第102-110页
 第四章 结论与总结第110-113页
  参考文献第112-113页
攻读博士学位期间已发表的论文第113-115页
致谢第115-116页

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