| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章绪论 | 第11-16页 |
| ·薄膜研究的意义 | 第11页 |
| ·ZnO材料的简介 | 第11-13页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第13-16页 |
| 第2章 薄膜光波导理论 | 第16-22页 |
| ·平面介质光波导中的光传播 | 第16-17页 |
| ·薄膜光波导中光波导的几何光学分析 | 第17-19页 |
| ·薄膜光波导中光导波的物理光学分析 | 第19-22页 |
| 第3章 稀土简介及薄膜制备与研究方法 | 第22-37页 |
| ·稀土元素及其应用 | 第22-24页 |
| ·薄膜制备方法 | 第24-31页 |
| ·薄膜研究手段 | 第31-37页 |
| 第4章 稀土离子在ZnO中的射程分布 | 第37-51页 |
| ·射程的概念及相关理论 | 第37-44页 |
| ·射程的概念及简单估算 | 第37-39页 |
| ·LSS及BZ射程理论 | 第39-42页 |
| ·离子在固体中浓度分布 | 第42-43页 |
| ·离子与固体相互作用过程的计算机模拟 | 第43-44页 |
| ·四种稀土离子的TRIM模拟 | 第44-48页 |
| ·RBS分析Er离子注入样品 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备 | 第51-65页 |
| ·样品制备过程 | 第51页 |
| ·实验结果与分析讨论 | 第51-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 Er~+离子注入Yb掺杂的ZnO光波导薄膜的特性研究 | 第65-76页 |
| ·样品制备过程 | 第65页 |
| ·实验结果与分析讨论 | 第65-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第7章 其它薄膜的制备及研究 | 第76-89页 |
| ·锌、铒、镱、铝共掺杂氧化物薄膜的制备及研究 | 第76-81页 |
| ·Er、Yb共掺ZnO薄膜的制备及光学特性研究 | 第81-83页 |
| ·石英玻璃衬底上镀Ag的研究 | 第83-84页 |
| ·稀土注入样品的上转换测试 | 第84-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第8章 结论与展望 | 第89-92页 |
| ·结论 | 第89-90页 |
| ·展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-100页 |
| 后记 | 第100-101页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第101页 |