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不同衬底上Ca纳米多层薄膜的制备与光学特性研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-19页
   ·纳米材料制备技术的发展历史第11-12页
   ·光学薄膜的研究现状第12-17页
     ·高功率激光薄膜第12-13页
     ·类金刚石及金刚石薄膜第13-14页
     ·软 X 射线多层薄膜第14-15页
     ·太阳能选择性吸收膜第15页
     ·光无源器件膜第15-17页
   ·本文的研究意义及主要内容第17-19页
第二章 薄膜光学特性的计算理论第19-35页
   ·.单色平面电磁波第19-28页
     ·麦克斯韦方程组第19-20页
     ·波动方程的解第20-23页
     ·光学导纳第23-25页
     ·E 和 H 的边界条件第25-26页
     ·坡印廷矢量第26-28页
   ·光学薄膜特性的理论计算第28-35页
     ·单层介质薄膜的反射率第28-31页
     ·多层膜的特性计算第31-35页
第三章 Ca 纳米多层薄膜的膜系设计第35-41页
   ·膜料与基片的选择第35-36页
     ·膜料的选取第35-36页
     ·基片的选择第36页
   ·膜系设计与理论模拟第36-38页
   ·本章小结第38-41页
第四章 Ca 纳米多层薄膜的制备及光学性质分析第41-57页
   ·薄膜生长特点第41-42页
     ·薄膜的生长模式第41-42页
     ·薄膜的致密性第42页
   ·薄膜的制备方法第42-45页
     ·分子束外延第43页
     ·化学气相沉积第43页
     ·溅射沉积第43-44页
     ·脉冲激光沉积第44-45页
     ·真空蒸镀第45页
   ·薄膜的表征方法第45-47页
     ·X 射线衍射第45-46页
     ·扫描电镜第46页
     ·原子力显微镜第46页
     ·台阶仪第46页
     ·紫外-可见分光光度计第46-47页
   ·Ca 纳米薄膜的制备与微结构分析第47-53页
     ·Ca 纳米薄膜的制备第47页
     ·XRD 分析第47-50页
     ·SEM 分析第50-51页
     ·AFM 分析第51-53页
   ·Ca 纳米多层薄膜的光学测试及结果第53-56页
   ·本章小结第56-57页
第五章 结论第57-59页
参考文献第59-63页
致谢第63-65页
攻读硕士学位期间的研究成果第65-66页

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