| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·光刻技术的发展 | 第7页 |
| ·极紫外光源技术 | 第7-10页 |
| ·极紫外光源碎屑的研究现状 | 第10-11页 |
| ·研究目的及方法 | 第11页 |
| ·本论文研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 理论分析及模拟 | 第13-18页 |
| ·等离子体特性概述 | 第13页 |
| ·SRIM软件介绍 | 第13-14页 |
| ·SRIM软件模拟锡离子飞行距离 | 第14-16页 |
| ·SRIM软件模拟钆离子飞行距离 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 锡离子碎屑特性和减缓研究 | 第18-34页 |
| ·实验装置 | 第18-19页 |
| ·实验主要器件使用介绍 | 第19-22页 |
| ·飞行时间法介绍 | 第22-23页 |
| ·锡离子碎屑特性 | 第23-26页 |
| ·锡离子碎屑减缓 | 第26-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 钆离子碎屑特性和减缓研究 | 第34-41页 |
| ·钆离子碎屑的特性 | 第34-36页 |
| ·钆离子碎屑的减缓研究 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 总结与展望 | 第41-43页 |
| ·实验总结 | 第41页 |
| ·未来展望 | 第41-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |