| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·发展趋势 | 第10页 |
| ·课题研究意义 | 第10-11页 |
| ·课题主要目的 | 第11-12页 |
| 第二章 MPS 二极管的结构及工作原理 | 第12-20页 |
| ·PIN 二极管 | 第12-14页 |
| ·PIN 二极管的结构 | 第12-13页 |
| ·PIN 二极管的工作原理 | 第13-14页 |
| ·降低 PIN 二极管功耗的措施 | 第14页 |
| ·肖特基二极管 | 第14-16页 |
| ·肖特基二极管的结构 | 第14-15页 |
| ·肖特基二极管工作原理 | 第15-16页 |
| ·肖特基二极管优点与缺点 | 第16页 |
| ·MPS 二极管 | 第16-19页 |
| ·MPS 二极管的结构 | 第16-17页 |
| ·MPS 二极管的工作原理 | 第17-18页 |
| ·MPS 二极管的正向导通原理 | 第18页 |
| ·MPS 二极管的反向阻断原理 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 MPS 二极管结构纵向参数的估算 | 第20-23页 |
| ·纵向结构参数的设计思想 | 第20页 |
| ·MPS 二极管的结构参数 | 第20-23页 |
| ·关键参数 N-区的掺杂浓度 | 第20-21页 |
| ·关键参数 N-区厚度 WN | 第21页 |
| ·其余纵向参数的确定 | 第21-22页 |
| ·PN 结深度及肖特基金属的选择 | 第22-23页 |
| 第四章 Silvaco 软件的简介 | 第23-26页 |
| ·Silvaco TCAD 简介 | 第23页 |
| ·Silvaco 功能模块 | 第23-24页 |
| ·仿真模型的选取 | 第24-26页 |
| 第五章 MPS 二极管特性的仿真分析 | 第26-49页 |
| ·MPS 二极管的结构仿真 | 第26-27页 |
| ·MPS 二极管阻断特性的仿真研究 | 第27-34页 |
| ·MPS、PIN、SBD 三种二极管阻断特性的仿真对比 | 第28-32页 |
| ·肖特基面积比例对阻断特性的影响 | 第32-34页 |
| ·纵向参数对阻断特性影响的仿真研究 | 第34-35页 |
| ·漂移区掺杂浓度的影响 | 第34-35页 |
| ·漂移区厚度的影响 | 第35页 |
| ·反向电场分布的仿真 | 第35-37页 |
| ·MPS 二极管正向特性的仿真研究 | 第37-41页 |
| ·MPS、PIN、SBD 三种二极管正向特性的仿真对比 | 第37-38页 |
| ·肖特基面积比例对正向特性的影响 | 第38-39页 |
| ·MPS 二极管正向电流密度分布 | 第39-41页 |
| ·MPS 二极管元胞尺寸设计 | 第41-43页 |
| ·元胞尺寸对阻断特性的影响 | 第41-42页 |
| ·元胞尺寸对正向特性的影响 | 第42-43页 |
| ·MPS 二极管反向恢复特性的仿真研究 | 第43-49页 |
| ·PIN 二极管的反向恢复特性的仿真分析 | 第43-46页 |
| ·肖特基二极管反向恢复特性的仿真研究 | 第46-47页 |
| ·MPS 二极管反向恢复特性的仿真研究 | 第47-49页 |
| 第六章 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 在学研究成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |