| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第7-8页 |
| ·亚表层损伤 | 第8-11页 |
| ·等离子体加工技术 | 第11-12页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 亚表层损伤的检测技术研究 | 第14-24页 |
| ·亚表层损伤检测方法 | 第14-19页 |
| ·亚表层损伤白光干涉检测法 | 第19-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 等离子体抛光理论分析 | 第24-29页 |
| ·等离子体产生原理 | 第24-26页 |
| ·气固界面反应 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 离子溅射亚表层损伤仿真研究 | 第29-39页 |
| ·溅射理论与模型 | 第29-32页 |
| ·低能离子溅射产生辐射损伤的SRIM仿真 | 第32-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 亚表层损伤等离子体修复实验研究 | 第39-48页 |
| ·传统抛光实验研究 | 第39-42页 |
| ·等离子体抛光实验研究 | 第42-44页 |
| ·表面损伤消减的复合抛光方法 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第六章 总结 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 硕士期间发表学术论文 | 第52页 |