基于COMSOL的MPT离子化源等离子体建模仿真
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-13页 |
| 1 绪论 | 第13-29页 |
| ·微波等离子体炬 | 第13-16页 |
| ·炬管结构 | 第13-14页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·MPT的特点 | 第15-16页 |
| ·低温等离子体 | 第16-19页 |
| ·等离子体的分类 | 第17-19页 |
| ·流体建模在低温等离子体仿真应用现状 | 第19-23页 |
| ·低温等离子体建模方法概览 | 第19-20页 |
| ·流体建模方法在低温等离子体仿真中的应用现状 | 第20-23页 |
| ·等离子体仿真的实现：有限元法概览 | 第23-26页 |
| ·本文的相关性及主要内容 | 第26-29页 |
| 2 数学模型与数值计算方案 | 第29-41页 |
| ·基本假设 | 第29页 |
| ·数学模型 | 第29-36页 |
| ·模型组成 | 第29-32页 |
| ·等离子体动力学模块 | 第32-33页 |
| ·中性粒子与流体动力学模块 | 第33-34页 |
| ·气相化学动力学模块 | 第34-36页 |
| ·碰撞反应 | 第36-39页 |
| ·截面数据 | 第36-38页 |
| ·碰撞反应参数 | 第38-39页 |
| ·计算流程 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 3 MPT离子化源二维仿真 | 第41-53页 |
| ·简介 | 第41页 |
| ·仿真结构与参数设定 | 第41-45页 |
| ·结构 | 第41-43页 |
| ·反应和截面数据 | 第43-44页 |
| ·网格与求解器 | 第44-45页 |
| ·MPT离子化源基本特性参数 | 第45页 |
| ·仿真结果与分析 | 第45-49页 |
| ·电子密度分布 | 第45-47页 |
| ·电子温度分布 | 第47-48页 |
| ·电场强度分布 | 第48-49页 |
| ·流场对电子密度分布的影响 | 第49-51页 |
| ·流量对电子密度的影响 | 第49-50页 |
| ·进气方向对电子密度分布的影响 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 4 MPT离子化源三维电磁场仿真和等离子仿真 | 第53-63页 |
| ·简介 | 第53-54页 |
| ·电磁场仿真 | 第54-61页 |
| ·理想匹配层 | 第55页 |
| ·电磁仿真的作用 | 第55-56页 |
| ·电场强度分布 | 第56-58页 |
| ·等离子体仿真 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 5 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-74页 |
| 附录1 截面数据 | 第74-78页 |
| 作者简历及攻读学位期间取得科研成果 | 第78页 |
