基于MEMS的曲面仿生复眼设计与制作
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·仿生复眼的结构特点 | 第9-11页 |
| ·仿生复眼的应用 | 第11-12页 |
| ·仿生复眼发展现状 | 第12-15页 |
| ·本文主要内容 | 第15-16页 |
| 2 SU-8 光刻胶的特性以及自聚焦效应 | 第16-27页 |
| ·SU-8 光刻胶的特性 | 第16-21页 |
| ·自聚焦效应的原理 | 第21-24页 |
| ·SU-8 光刻胶的自聚焦效应 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 3 曲面复眼光学特性模拟 | 第27-34页 |
| ·系统建模 | 第27-30页 |
| ·仿真结果 | 第30-31页 |
| ·结果分析 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 利用时域有限差分方法模拟晶锥波导的形成 | 第34-46页 |
| ·时域有限差分方法 | 第34-39页 |
| ·程序建模 | 第39-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 曲面仿生复眼的制作 | 第46-56页 |
| ·曲面仿生复眼制作方案 | 第46-47页 |
| ·曲面微透镜阵列的制备 | 第47-54页 |
| ·晶椎波导的制作 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 曲面复眼样品性能测试 | 第56-63页 |
| ·器件形貌测试 | 第56-60页 |
| ·光学特性测试 | 第60-63页 |
| 7 总结与展望 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间论文目录 | 第71-72页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间专利授权与申请情况 | 第72页 |
