| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·ZnO 的性质及其应用 | 第9-16页 |
| ·SiO_2 的性质及其制备 | 第16-18页 |
| ·本研究的目的和主要内容 | 第18-20页 |
| 2 溶胶-凝胶法制备ZnO | 第20-38页 |
| ·ZnO 薄膜的制备原理及方法 | 第20-22页 |
| ·SiO_2 薄膜的制备原理及方法 | 第22-24页 |
| ·ZnO/SiO_2 复合薄膜的表征手段 | 第24-26页 |
| ·薄膜测试结果与分析 | 第26-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 ZnO 薄膜晶体管的制备 | 第38-49页 |
| ·薄膜晶体管的结构及原理 | 第38-40页 |
| ·ZnO 薄膜晶体管的制作过程 | 第40-45页 |
| ·ZnO 薄膜晶体管的电学性能表征 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 结论与展望 | 第49-51页 |
| ·主要研究结论 | 第49页 |
| ·进一步研究展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第57页 |