| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 概论 | 第8-20页 |
| ·极紫外光刻机光源研究意义及背景 | 第8-10页 |
| ·激光等离子体光源研究进展 | 第10-19页 |
| ·论文的主要工作 | 第19-20页 |
| 2 软X 射线平场光栅光谱仪的设计 | 第20-36页 |
| ·平场谱仪介绍 | 第20-28页 |
| ·平场谱仪的设计 | 第28-32页 |
| ·平场谱仪的安装调试 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 激光等离子体极紫外光源实验系统的介绍 | 第36-44页 |
| ·二氧化碳激光器 | 第36-39页 |
| ·真空系统 | 第39-43页 |
| ·锡靶 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 激光等离子体极紫外光源实验研究 | 第44-52页 |
| ·光谱定标 | 第44-48页 |
| ·激光功率密度对极紫外光的影响 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 总结和展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |