| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-16页 |
| ·铁电材料 | 第9-10页 |
| ·铁电随机存储器 | 第10-11页 |
| ·PbZr_xTi_(1-x)O_3的结构与特性 | 第11-12页 |
| ·BiFeO_3的结构与特性 | 第12-13页 |
| ·本论文的研究意义及内容 | 第13-16页 |
| 第2章 薄膜材料的制备和表征方法 | 第16-22页 |
| ·薄膜材料的制备 | 第16-19页 |
| ·磁控溅射原理 | 第16-18页 |
| ·溶胶-凝胶原理 | 第18-19页 |
| ·薄膜材料的表征方法 | 第19-22页 |
| ·X 射线衍射原理 | 第19-20页 |
| ·铁电测试系统 | 第20-22页 |
| 第3章 Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3和 Pb(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3铁电薄膜反转特性的对比研究 | 第22-28页 |
| ·实验过程 | 第22-24页 |
| ·实验结果与讨论 | 第24-27页 |
| ·结论 | 第27-28页 |
| 第4章 硅基外延 SrRuO_3/PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3/SrRuO_3电容器的结构和性能研究 | 第28-33页 |
| ·实验过程 | 第28-29页 |
| ·实验结果与讨论 | 第29-32页 |
| ·结论 | 第32-33页 |
| 第5章 La、Ni 共掺 BiFeO)3铁电薄膜的结构与性能 | 第33-38页 |
| ·实验过程 | 第33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-37页 |
| ·结论 | 第37-38页 |
| 第6章 Mn 掺杂 BiFeO_3铁电薄膜铁电性能的研究 | 第38-51页 |
| ·衬底对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电薄膜结构和性能的影响 | 第38-44页 |
| ·实验过程 | 第38-39页 |
| ·实验结果与讨论 | 第39-44页 |
| ·结论 | 第44页 |
| ·电极材料对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电薄膜结构和性能的影响 | 第44-51页 |
| ·实验过程 | 第44-45页 |
| ·实验结果与讨论 | 第45-50页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| 结束语 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第59页 |
