环境微振动下超精密加工设备的响应研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第11页 |
| ·超精密加工及影响加工精度因素的研究现状 | 第11-15页 |
| ·国内外精密和超精密加工的发展 | 第11-13页 |
| ·超精密加工机床的发展 | 第13-14页 |
| ·影响超精密加工精度的主要因素 | 第14-15页 |
| ·微振动研究现状 | 第15-17页 |
| ·国外微振动研究现状 | 第16页 |
| ·国内微振动研究现状 | 第16-17页 |
| ·本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 环境振动的研究 | 第19-43页 |
| ·环境振动概述 | 第19-24页 |
| ·环境振动的研究发展 | 第19页 |
| ·环境振动的特点 | 第19页 |
| ·环境振动的评价标准 | 第19-21页 |
| ·环境振动的振源 | 第21-23页 |
| ·环境振动的传播 | 第23-24页 |
| ·环境振动分析方法 | 第24-31页 |
| ·环境振动的统计特征 | 第24-27页 |
| ·平稳随机过程和非平稳随机过程 | 第27-29页 |
| ·系统对随机振动的响应 | 第29-31页 |
| ·环境振动控制理论 | 第31-41页 |
| ·被动控制 | 第31-40页 |
| ·主动控制 | 第40-41页 |
| ·半主动控制 | 第41页 |
| ·混合控制 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 3 超精密加工设备动力性能试验研究 | 第43-52页 |
| ·动力性能试验方法概述 | 第43-45页 |
| ·试验模态方法的发展 | 第43-44页 |
| ·试验模态分析过程 | 第44-45页 |
| ·超精密加工设备试验模态分析 | 第45-49页 |
| ·试验对象及特点 | 第45-46页 |
| ·试验模态分析装置 | 第46-48页 |
| ·模态测试结果分析 | 第48-49页 |
| ·超精密加工设备动态响应测试 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 超精密加工设备在微振动作用下的响应分析 | 第52-76页 |
| ·设备计算模态分析 | 第52-54页 |
| ·有限元模型的建立 | 第52-53页 |
| ·计算模态分析 | 第53-54页 |
| ·设备对自身工作时的振动响应 | 第54-61页 |
| ·设备结构对振动的影响 | 第54-57页 |
| ·主轴旋转对设备振动影响的分析 | 第57-61页 |
| ·设备在外界环境振动下的响应分析 | 第61-75页 |
| ·实测环境振动分析 | 第61-63页 |
| ·时域分析——瞬态动力有限元分析 | 第63-68页 |
| ·频域分析——随机振动有限元分析 | 第68-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 5 加隔振系统超精密加工设备的分析 | 第76-97页 |
| ·隔振系统设计 | 第76-77页 |
| ·隔振系统设计依据 | 第76页 |
| ·隔振系统计算模型 | 第76-77页 |
| ·隔振系统对振动的响应分析 | 第77-90页 |
| ·时域分析——模态动力有限元分析 | 第77-82页 |
| ·频域分析——随机振动有限元分析 | 第82-90页 |
| ·参数变化对隔振效果的影响 | 第90-96页 |
| ·隔振基础厚度对隔振效果的影响 | 第90-91页 |
| ·隔振弹簧刚度对隔振效果的影响 | 第91-92页 |
| ·工作转速下的隔振弹簧刚度影响 | 第92-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 结论与展望 | 第97-100页 |
| ·结论 | 第97-98页 |
| ·展望 | 第98-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-106页 |
| 附录 | 第106页 |
