直拉单晶硅炉用炭素材料防护涂层的制备与性能研究
| 摘要 | 第1-16页 |
| Abstract | 第16-21页 |
| 本文创新和主要贡献 | 第21-22页 |
| 符号说明 | 第22-23页 |
| 第一章 绪论 | 第23-43页 |
| ·单晶硅概述 | 第23-24页 |
| ·单晶硅炉中的炭素热场材料概述 | 第24-27页 |
| ·石墨热场材料 | 第25-26页 |
| ·炭/炭复合材料 | 第26页 |
| ·隔热保温炭毡 | 第26-27页 |
| ·单晶硅炉内环境与炭素热场材料失效概述 | 第27-29页 |
| ·炭素材料防护涂层的研究现状 | 第29-33页 |
| ·抗氧化涂层 | 第29-32页 |
| ·防护涂层制备技术 | 第32-33页 |
| ·本文的研究目的和研究内容 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-43页 |
| 第二章 实验材料与实验方法 | 第43-51页 |
| ·实验材料 | 第43页 |
| ·样品的制备 | 第43-44页 |
| ·热解炭涂层的制备 | 第43页 |
| ·碳化硅涂层的制备 | 第43-44页 |
| ·复合涂层的制备 | 第44页 |
| ·实验设备 | 第44-45页 |
| ·测试与表征方法 | 第45-49页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第45-46页 |
| ·扫描电镜(SEM) | 第46页 |
| ·激光拉曼光谱(LRS) | 第46页 |
| ·抗氧化性能研究 | 第46页 |
| ·力学性能测试 | 第46-47页 |
| ·抗硅化腐蚀测试 | 第47-48页 |
| ·热辐射性能研究测试 | 第48-49页 |
| ·高解析辉光放电质谱(GDMS) | 第49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 第三章 直拉单晶硅炉炭素热场材料失效分析 | 第51-75页 |
| ·前言 | 第51页 |
| ·实验材料的选择 | 第51-53页 |
| ·实验材料 | 第51-52页 |
| ·C/C复合材料纤维排布方式 | 第52-53页 |
| ·实验过程 | 第53-55页 |
| ·实验材料处理 | 第53-54页 |
| ·分析测试 | 第54-55页 |
| ·炭素材料的抗氧化性能研究 | 第55-64页 |
| ·基底类型对抗氧化性能的影响 | 第55-57页 |
| ·物相结构对氧化性能的影响 | 第57-61页 |
| ·杂质含量对氧化性能影响 | 第61-64页 |
| ·表面抛光对氧化性能的影响 | 第64页 |
| ·炭素材料的硅化腐蚀研究 | 第64-72页 |
| ·石墨材料的硅化腐蚀 | 第65-67页 |
| ·C/C复合材料的硅化腐蚀 | 第67-70页 |
| ·炭素材料硅化反应动力学研究 | 第70-72页 |
| ·硅化腐蚀对炭素材料力学性能的影响 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第四章 热解炭涂层的制备及防护机理研究 | 第75-91页 |
| ·样品制备 | 第75-76页 |
| ·树脂热解炭涂层的制备 | 第75-76页 |
| ·CVD热解炭涂层的制备 | 第76页 |
| ·热解炭涂层的物相分析与微观结构 | 第76-83页 |
| ·热解炭涂层的物相结构 | 第76-77页 |
| ·树脂热解炭涂层拉曼光谱 | 第77-78页 |
| ·树脂热解炭涂层残余应力 | 第78-80页 |
| ·树脂热解炭涂层的微观形貌 | 第80-81页 |
| ·气相沉积热解炭涂层残余应力 | 第81-82页 |
| ·气相沉积热解炭涂层的微观形貌 | 第82-83页 |
| ·热解炭涂层氧化性能研究 | 第83-85页 |
| ·热解炭涂层的抗硅化腐蚀性能 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 第五章 SiC涂层的制备与防护机理研究 | 第91-107页 |
| ·样品制备 | 第91-92页 |
| ·包埋熔渗法制备SiC涂层 | 第91-92页 |
| ·气相沉积SiC涂层的制备 | 第92页 |
| ·SiC涂层的制备与微观结构 | 第92-100页 |
| ·熔渗时间对SiC涂层的影响 | 第92-94页 |
| ·包埋熔渗法制备SiC涂层的拉曼光谱 | 第94-96页 |
| ·包埋熔渗法制备SiC涂层的微观结构 | 第96-97页 |
| ·基体对包埋熔渗法制备SiC涂层的影响 | 第97-98页 |
| ·气相沉积SiC涂层的物相结构与微观形貌 | 第98-100页 |
| ·SiC涂层的氧化性能研究 | 第100-101页 |
| ·SiC涂层抗硅化腐蚀性能 | 第101-105页 |
| ·本章小结 | 第105页 |
| 参考文献 | 第105-107页 |
| 第六章 PyC/SiC复合涂层的制备与性能研究 | 第107-119页 |
| ·PyC过渡层的制备与微观结构 | 第107-111页 |
| ·涂层的制备 | 第107-109页 |
| ·PyC过渡层物相分析 | 第109页 |
| ·PyC过渡层微观形貌分析 | 第109-110页 |
| ·PyC过渡层的残余应力 | 第110-111页 |
| ·SiC外涂层的制备与微观结构 | 第111-115页 |
| ·涂层的制备 | 第111页 |
| ·SiC外涂层的物相分析 | 第111-112页 |
| ·PyC/SiC涂层的微观形貌分析 | 第112-114页 |
| ·PyC/SiC涂层的残余应力 | 第114-115页 |
| ·弱界面增韧涂层界面机理 | 第115-116页 |
| ·弱界面概述 | 第115页 |
| ·PyC过渡层增韧机理 | 第115-116页 |
| ·PyC/SiC复合涂层的抗氧化性能 | 第116页 |
| ·PyC/SiC复合涂层的抗硅化腐蚀性能 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-119页 |
| 第七章 炭素材料热辐射性能研究 | 第119-135页 |
| ·热辐射概述 | 第119-120页 |
| ·炭素材料热辐射性能研究 | 第120-125页 |
| ·不同炭素材料光谱发射率研究 | 第121-122页 |
| ·微结构对炭素材料光谱发射率的影响 | 第122-124页 |
| ·表面状态对炭素材料光谱发射率的影响 | 第124-125页 |
| ·防护涂层对炭素材料热辐射性能的影响 | 第125-133页 |
| ·热解炭防护炭素材料的热辐射性能研究 | 第125-130页 |
| ·碳化硅热防护炭素材料的热辐射性能研究 | 第130-133页 |
| ·本章小结 | 第133页 |
| 参考文献 | 第133-135页 |
| 第八章 结论 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-139页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第139-141页 |
| 参与科研项目及获奖情况 | 第141-142页 |
| 附录 | 第142-152页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第152页 |
