| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究现状 | 第11-14页 |
| ·氧化铟锡(ITO)薄膜 | 第12-13页 |
| ·氧化锌铝(AZO)薄膜 | 第13页 |
| ·氧化锡锑(ATO)薄膜 | 第13-14页 |
| ·ATO薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第14-15页 |
| ·喷雾热解法 | 第15-16页 |
| ·化学气相沉积法 | 第16页 |
| ·磁控溅射法 | 第16-17页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第17页 |
| ·薄膜的光学性能 | 第17-19页 |
| ·等离子振荡频率 | 第18页 |
| ·光学禁带宽度 | 第18-19页 |
| ·薄膜的电学性能 | 第19-21页 |
| ·载流子浓度 | 第19-20页 |
| ·载流子迁移率 | 第20-21页 |
| ·论文的提出、研究目的与研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验与测试 | 第23-29页 |
| ·实验原料 | 第23-24页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·实验设计与工艺流程 | 第25-27页 |
| ·测试原理与方法 | 第27-29页 |
| ·物相分析 | 第27页 |
| ·断面及表面形貌分析 | 第27页 |
| ·成分分析 | 第27-28页 |
| ·光学性能测试 | 第28页 |
| ·电学性能测试 | 第28-29页 |
| 第3章 ATO薄膜的脉冲激光沉积及其光学、电学性能研究 | 第29-50页 |
| ·沉积温度对ATO薄膜结构及其性能影响 | 第29-33页 |
| ·沉积温度对ATO薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| ·沉积温度对ATO薄膜光学、电学性能的影响 | 第31-33页 |
| ·退火温度对ATO薄膜结构、组分及其性能影响 | 第33-41页 |
| ·退火温度对ATO薄膜结构的影响 | 第33-35页 |
| ·退火温度对ATO薄膜Sb~(5+)/Sb~(3+)比例的影响 | 第35-37页 |
| ·退火温度对ATO薄膜光学、电学性能的影响 | 第37-41页 |
| ·氧气分压对ATO薄膜结构、组分及其性能影响 | 第41-48页 |
| ·氧气分压对ATO薄膜结构的影响 | 第42-43页 |
| ·氧气分压对ATO薄膜Sb~(5+)/Sb~(3+)比例的影响 | 第43-45页 |
| ·氧气分压对ATO薄膜光学、电学性能的影响 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 Sb掺杂含量对ATO薄膜结构、组分及其性能影响 | 第50-59页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO薄膜结构的影响 | 第51页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO薄膜Sb~(5+)/Sb~(3+)比例的影响 | 第51-53页 |
| ·Sb掺杂含量对ATO薄膜光学、电学性能的影响 | 第53-57页 |
| ·ATO薄膜的评价指标 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 ATO薄膜载流子输运调控与导电性能的提高 | 第59-75页 |
| ·沉积时间对ATO薄膜结构及其性能影响 | 第59-66页 |
| ·沉积时间对ATO薄膜结晶性和取向度的影响 | 第60-64页 |
| ·结晶性和取向度对载流子迁移率的影响 | 第64页 |
| ·沉积时间对ATO薄膜光学、电学性能影响 | 第64-66页 |
| ·激光能量密度对ATO薄膜结构及其性能影响 | 第66-73页 |
| ·激光能量密度对ATO薄膜结晶性和取向度的影响 | 第67-70页 |
| ·结晶性和取向度对载流子迁移率的影响 | 第70页 |
| ·激光能量密度对ATO薄膜光学、电学性能的影响 | 第70-73页 |
| ·ATO薄膜的评价指标 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第6章 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果目录 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
