| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·光学多层膜解析设计的概述 | 第13页 |
| ·光学薄膜制备技术的概述 | 第13-15页 |
| ·主要内容及意义 | 第15-16页 |
| 第二章 “逐层法”设计真空紫外高反膜 | 第16-45页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·真空紫外高反射膜的发展概况 | 第16-17页 |
| ·几种新的高反膜设计方法简介 | 第17-19页 |
| ·Needle 设计法 | 第17-18页 |
| ·LSM/QPM 设计法 | 第18页 |
| ·SBBRM 设计法 | 第18页 |
| ·WRL 设计法 | 第18-19页 |
| ·“逐层法”简介 | 第19-28页 |
| ·“逐层”设计法理论概述 | 第19-25页 |
| ·“逐层”设计法选材依据 | 第25-28页 |
| ·真空紫外高反膜系“逐层法”设计过程 | 第28-43页 |
| ·基于 MATLAB 的膜系设计程序简介 | 第28-30页 |
| ·选取 Rh - Si 为膜系组合的依据 | 第30页 |
| ·Rh - Si 真空紫外高反膜设计结果 | 第30-35页 |
| ·膜厚误差对反射率结果的影响 | 第35-39页 |
| ·C、SiC 、W- Si 等组合的反射率与 Rh - Si 组合对比 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 可见光波段带通滤光膜系设计 | 第45-64页 |
| ·引言 | 第45-48页 |
| ·滤光片的种类及特点 | 第45-47页 |
| ·可见光波段滤光片的用途 | 第47页 |
| ·可见光波段滤光片的前景 | 第47-48页 |
| ·几种带通滤光片设计方法 | 第48-54页 |
| ·Fabry - Perot 滤光片 | 第48页 |
| ·全介质滤光片 | 第48-53页 |
| ·诱导透射滤光片 | 第53-54页 |
| ·可见光带通滤光片的设计过程 | 第54-62页 |
| ·膜系设计参数和指标 | 第54页 |
| ·膜系设计软件介绍 | 第54-55页 |
| ·膜系选材标准 | 第55页 |
| ·多半波型滤光片主膜系的确定 | 第55-56页 |
| ·多半波型滤光片匹配膜系的确定 | 第56页 |
| ·最终膜系的确定 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·本文总结 | 第64-65页 |
| ·“逐层法”设计真空紫外高反膜 | 第64页 |
| ·可见光带通滤光膜系设计 | 第64-65页 |
| ·课题相关问题的展望 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |