具有纳米分辨力二维超精密定位平台的研制
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 图清单 | 第13-14页 |
| 表清单 | 第14-15页 |
| 1 绪论 | 第15-22页 |
| ·课题背景及意义 | 第15-16页 |
| ·课题研究的国内外现状 | 第16-20页 |
| ·微动平台的研究现状 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷驱动电源研究现状 | 第17-19页 |
| ·纳米监测技术国内外现状 | 第19-20页 |
| ·课题主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 高频锁相技术超精密定位系统 | 第22-29页 |
| ·超精密定位系统的组成 | 第22-23页 |
| ·超精密定位系统工作原理 | 第23-27页 |
| ·外差式激光干涉仪 | 第23-25页 |
| ·高频信号发生及移相电路 | 第25-26页 |
| ·高频高精度鉴相电路 | 第26-27页 |
| ·二维微位移平台 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 3 二维微动平台设计 | 第29-43页 |
| ·柔性铰链参数设计 | 第29-32页 |
| ·柔性铰链力学模型 | 第29-31页 |
| ·柔性铰链转角刚度分析 | 第31-32页 |
| ·平台结构设计及分析 | 第32-37页 |
| ·平行四连杆机构 | 第32-33页 |
| ·复合平行四连杆机构特性分析 | 第33-37页 |
| ·二维微动平台设计及仿真分析 | 第37-42页 |
| ·平台设计参数 | 第37-39页 |
| ·有限元分析 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 压电陶瓷驱动器特性研究及其驱动电源的设计 | 第43-54页 |
| ·压电陶瓷驱动器的选型及特性分析 | 第43-45页 |
| ·压电驱动器的选型 | 第43页 |
| ·压电驱动器工作机理 | 第43-44页 |
| ·压电驱动器静态特性 | 第44-45页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的特点 | 第45-46页 |
| ·压电陶瓷驱动电源设计 | 第46-53页 |
| ·工作原理 | 第46页 |
| ·驱动电路设计 | 第46-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 影响微动平台定位精度因素的分析 | 第54-61页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞、蠕变及非线性误差 | 第54-55页 |
| ·柔性铰链加工误差 | 第55-56页 |
| ·驱动电源引入误差 | 第56-57页 |
| ·微位移平台的残余振荡误差 | 第57-58页 |
| ·激光干涉仪非线性误差 | 第58-59页 |
| ·环境参量变化引入的误差 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 实验研究 | 第61-71页 |
| ·压电陶瓷驱动电源性能实验 | 第61-65页 |
| ·输出电压线性度实验 | 第61-62页 |
| ·输出电压分辨力实验 | 第62页 |
| ·稳定性实验 | 第62-63页 |
| ·噪声实验 | 第63页 |
| ·动态特性实验 | 第63-65页 |
| ·二维微动平台性能实验 | 第65-66页 |
| ·位移输入输出特性实验 | 第65-66页 |
| ·分辨力实验 | 第66页 |
| ·定位系统实验 | 第66-68页 |
| ·定位精度实验 | 第67页 |
| ·稳定性实验 | 第67-68页 |
| ·重复性实验 | 第68页 |
| ·实验系统误差合成 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 7 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 A 电路原理图 | 第77-78页 |
| 作者简历 | 第78页 |
