大功率晶体管的设计与制造工艺

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
第一章 前言	第6-9页
·背景及意义	第6页
·国内外研究状况和进展	第6-9页
第二章 大功率晶体管概述	第9-15页
·大功率晶体管的大电流效应	第9-10页
·大功率晶体管的饱和压降	第10-12页
·大功率晶体管的击穿分析	第12-13页
·大功率晶体管的二次击穿	第13-15页
第三章 大功率晶体管设计	第15-33页
·大功率晶体管纵向结构设计	第15-21页
·大功率晶体管横向结构设计	第21-33页
第四章 大功率晶体管的材料参数分析	第33-38页
·晶片电阻率的计算	第33页
·基区和发射区表面浓度的选取和计算	第33-35页
·外延层杂质浓度和电阻率的确定	第35-37页
·材料质量对成品率的影响	第37-38页
第五章 大功率晶体管制造工艺	第38-63页
·工艺流程	第38页
·工艺步骤说明和关键步骤的分析与计算	第38-62页
·制作工艺环境对成品率的影响	第62-63页
第六章 大功率晶体管的封装	第63-64页
·管壳结构	第63页
·管壳的封装方式	第63-64页
第七章 总结	第64-65页
致谢	第65-66页
主要参考文献	第66-68页
附录	第68-69页