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基于MEMS的全固态双增益阿达玛光谱仪关键技术研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
目录第9-12页
图表目录第12-16页
第1章 绪论第16-26页
   ·引言第16页
   ·光谱仪器的发展现状第16-19页
     ·光谱仪器的发展历史第16-17页
     ·微小型光谱仪第17-18页
     ·基于MEMS 的光谱仪微小型化技术第18-19页
   ·研究阿达玛光谱仪的意义第19-20页
     ·微小型光谱仪中存在的问题第19页
     ·结合MEMS 技术的阿达玛光谱仪第19-20页
     ·研究阿达玛光谱仪器的现实意义第20页
   ·阿达玛光谱仪的发展现状第20-23页
     ·光谱仪器中的调制技术第20-22页
     ·阿达玛编码模板技术第22-23页
     ·阿达玛光谱仪器的应用第23页
   ·本论文的主要研究内容第23-26页
第2章 阿达玛光谱仪原理及基本结构设计第26-40页
   ·引言第26页
   ·光栅色散型光谱仪第26-27页
   ·阿达玛光谱仪编码技术第27-32页
     ·阿达玛变换的多通道探测原理第27-28页
     ·阿达玛变换编码测量原理第28-32页
   ·光谱仪光学系统第32-36页
     ·Czerny—Turner 系统第33页
     ·瓦茨沃斯成像系统第33-34页
     ·艾伯特-法斯梯系统第34-35页
     ·阿达玛光谱仪的光学系统原理第35-36页
   ·阿达玛光谱仪机械结构设计第36-39页
   ·本章小结第39-40页
第3章 阿达玛光谱仪全仪器函数研究第40-56页
   ·引言第40页
   ·阿达玛光谱仪分辨率分析第40-42页
   ·反射式光栅的仪器函数第42-46页
   ·阿达玛光谱仪全仪器函数第46-54页
     ·平面波光源振动分布函数第46-50页
     ·点光源振动分布函数第50-54页
   ·本章小结第54-56页
第4章 阿达玛光谱仪入射狭缝模板编码设计及制作第56-72页
   ·引言第56页
   ·阿达玛模板编码技术第56-63页
     ·H 型入射狭缝编码设计第56-58页
     ·循环S 型入射狭缝编码设计第58-61页
     ·S 型入射狭缝编码设计第61-63页
   ·阿达玛入射狭缝类型选择与制作第63-71页
     ·传统的阿达玛型入射狭缝类型实现第63-65页
     ·全固态的二维微硅片狭缝阵列第65-66页
     ·微硅片狭缝制作特点第66-68页
     ·微狭缝阵列制作工艺第68-71页
   ·本章小结第71-72页
第5章 阿达玛光谱仪入射狭缝的衍射对光通量影响分析与验证第72-98页
   ·引言第72页
   ·衍射现象原理第72-81页
     ·基尔霍夫衍射积分第72-77页
     ·衍射屏上光振动分布函数的具体表示法第77-81页
   ·二维多狭缝阵列衍射现象分析公式推导第81-83页
   ·微硅片狭缝阵列衍射光强分布MATLAB 仿真及结果验证第83-85页
     ·Matlab 仿真第83页
     ·实验平台的搭建及验证第83-85页
   ·关于阿达玛光谱仪的入射狭缝阵列的对比实验第85-90页
     ·阿达玛狭缝阵列与单狭缝光通量的比较第85-88页
     ·阿达玛微硅片狭缝阵列S 、CS 之间的光通量比较实验第88-90页
   ·阿达玛入射狭缝结构参数设计规律第90-96页
     ·阿达玛狭缝衍射规律理论分析第90-91页
     ·阿达玛S 型微硅片阵列狭缝第91-92页
     ·衍射公式仿真及结果验证第92-94页
     ·光强分布规律分析第94-95页
     ·结论第95-96页
   ·本章小结第96-98页
第6章 总结与展望第98-102页
   ·全文总结第98-99页
   ·预期的工作及展望第99-102页
参考文献第102-108页
在学期间学术成果情况第108-110页
指导教师及作者简介第110-112页
致谢第112页

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