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直流磁控溅射纳米晶Fe-N薄膜的研究

提要第1-7页
第一章 绪论第7-38页
   ·纳米磁性材料的磁特性第7-10页
   ·Fe-N 材料的发展历史第10页
   ·Fe-N 材料的结构及磁性第10-19页
   ·Fe-N 材料的研究现状及发展趋势第19-24页
   ·本论文研究的目的、意义及主要内容第24-26页
 参考文献第26-38页
第二章 纳米晶Fe-N 薄膜的制备与测试方法第38-50页
   ·磁控溅射方法的工作原理第38-40页
   ·实验装置第40-42页
   ·影响薄膜生长的主要实验条件第42-44页
   ·样品的制备第44-45页
   ·纳米晶Fe-N 薄膜的测试分析方法第45-48页
 参考文献第48-50页
第三章 制备条件对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第50-84页
   ·衬底温度对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第51-57页
   ·衬底材料对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第57-66页
   ·溅射时间对γ'-Fe4N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第66-74页
   ·衬底偏压对γ'-Fe4N 薄膜的结构及磁学性能的影响第74-79页
   ·本章小结第79-81页
 参考文献第81-84页
第四章 Fe3N 薄膜的结构、形貌及磁性研究第84-96页
   ·Fe3N 薄膜的制备条件第84-85页
   ·Fe3N 薄膜的结构分析第85-87页
   ·Fe3N 薄膜的形貌分析第87-88页
   ·Fe3N 薄膜的磁性分析第88-92页
   ·本章小结第92-94页
 参考文献第94-96页
第五章 γ'-Fe4N 薄膜的结构及磁性研究第96-107页
   ·γ'-Fe4N 薄膜的制备条件第96页
   ·γ'-Fe4N 薄膜的结构分析第96-98页
   ·γ'-Fe4N 薄膜的形貌分析第98页
   ·γ'-Fe4N 薄膜的室温磁性分析第98-100页
   ·γ'-Fe4N 薄膜的低温磁性分析第100-104页
   ·本章小结第104-105页
 参考文献第105-107页
第六章 γ'-Fe4N 薄膜的结构、磁性及热稳定性研究第107-119页
   ·薄膜样品的制备第107-108页
   ·γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的结构分析第108-112页
   ·γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的形貌分析第112页
   ·γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的磁性分析第112-117页
   ·本章小结第117-118页
 参考文献第118-119页
第七章 总结第119-121页
 一、制备条件对 Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第119页
 二、Fe_3N 薄膜的结构、形貌及磁学性能研究第119-120页
 三、γ'-Fe_4N 薄膜的结构及低温磁性研究第120页
 四、γ'-Fe_4N 薄膜的结构、磁性及热稳定性研究第120-121页
攻读博士学位期间发表的论文第121-122页
中文摘要第122-125页
ABSTRACT第125-129页
致谢第129页

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