| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·概述 | 第8-11页 |
| ·国内外研究概况 | 第11-13页 |
| ·市场应用前景 | 第13-15页 |
| ·研究内容和论文安排 | 第15-17页 |
| 2 声表面波器件原理及制作工艺 | 第17-27页 |
| ·声表面波技术的发展概况 | 第17-18页 |
| ·声表面波的传播特性 | 第18-20页 |
| ·声表面波器件 | 第20-23页 |
| ·声表面波器件的制作工艺 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 谐振式压力传感器的设计和制作 | 第27-39页 |
| ·基本工作机理 | 第27-30页 |
| ·声表面波谐振器设计 | 第30-34页 |
| ·谐振器在基片上的位置 | 第34-36页 |
| ·谐振器的制作 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 压力传感器的封装 | 第39-47页 |
| ·压力传感器封装要求 | 第39页 |
| ·石英谐振器键合工艺的研究 | 第39-44页 |
| ·压力传感器封装的泄漏率检测 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·全文总结 | 第47页 |
| ·对后续工作的展望 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |