| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·环形谐振器种类 | 第9-11页 |
| ·论文的研究目的和内容 | 第11-13页 |
| 第二章 理论分析 | 第13-29页 |
| ·谐振条件 | 第13-15页 |
| ·谐振腔特性分析 | 第15-26页 |
| ·谐振条件 | 第15-17页 |
| ·输出光强和光路中的传输光强 | 第17-21页 |
| ·谐振的相位变化 | 第21-22页 |
| ·环形谐振器的精细度 | 第22-24页 |
| ·光强耦合系数和定向耦合器几何结构的关系 | 第24-26页 |
| ·环形谐振器损耗来源 | 第26-29页 |
| 第三章 新型硅基二氧化硅光波导无源环形谐振器设计与分析 | 第29-50页 |
| ·工作原理 | 第29页 |
| ·误差来源于相应对策 | 第29-32页 |
| ·波导材料 | 第32-34页 |
| ·无源环形谐振器的设计 | 第34-50页 |
| ·整体设计 | 第34-35页 |
| ·二氧化硅光波导材料 | 第35-38页 |
| ·二氧化硅光波导结构设计 | 第38-42页 |
| ·定向耦合器设计 | 第42-43页 |
| ·光路设计 | 第43-50页 |
| 第四章 制作与工艺 | 第50-59页 |
| ·平板光波导的制作 | 第50-54页 |
| ·集成光路的精细加工 | 第54-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-63页 |
| ·环形谐振腔特性 | 第59-61页 |
| ·论文创新点 | 第61页 |
| ·今后改进措施 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |