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磁控溅射制备电磁屏蔽纺织材料的性能研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 课题的背景及研究的内容第7-13页
   ·电磁辐射的来源及电磁辐射对人体的危害第7-9页
     ·电磁辐射的来源第7页
     ·电磁辐射对人体的危害第7-8页
     ·电磁波作用于人体的频段及其相应特性以及主要家用电器辐射主频率第8-9页
   ·电磁屏蔽织物第9-12页
     ·国内外电磁屏蔽织物的研究现状第9-10页
     ·电磁屏蔽织物的评价第10页
     ·电磁屏蔽织物电磁屏蔽的理论基础第10-12页
   ·本课题的研究内容第12页
   ·本课题相关内容研究现状第12-13页
     ·磁控溅射法制备薄膜的结构研究现状第12页
     ·磁控溅射法制备薄膜的性能研究现状第12-13页
第二章 磁控溅射镀膜系统及测试手段第13-18页
   ·磁控溅射第13-15页
     ·磁控溅射原理介绍第13-14页
     ·本实验所用磁控溅射镀膜系统第14-15页
   ·测试手段第15-18页
     ·原子力显微镜第15-16页
     ·直线四探针测试仪第16页
     ·扫描电子显微镜第16-17页
     ·EDX第17-18页
第三章 磁控溅射银膜结构及表面形貌研究第18-31页
   ·实验材料与实验仪器第18页
   ·实验方法第18页
   ·结果与讨论第18-26页
     ·厚度对银膜结构及表面形貌的影响第18-21页
     ·功率对溅射速率与银膜结构及表面形貌的影响第21-23页
     ·压强与溅射速率的关系以及压强对银膜结构及表面形貌的影响第23-26页
   ·织物表面元素分析第26-28页
   ·非织造基磁控溅射AG 薄膜生长过程分析第28-30页
   ·小结第30-31页
第四章 薄膜导电性能和电磁屏蔽性能研究第31-38页
   ·实验材料与实验仪器第31页
     ·实验材料第31页
     ·实验仪器与试剂第31页
   ·实验步骤与方法原理第31-33页
     ·材料预处理第31页
     ·导电性能测试第31页
     ·薄膜均匀性评价指标第31-32页
     ·电磁屏蔽效能测试第32页
     ·纳米银镀层电磁屏蔽原理的模型建立第32-33页
   ·结果与讨论第33-35页
     ·薄膜厚度对导电性能的影响第33-34页
     ·溅射功率对薄膜导电性能的影响第34页
     ·氩气压强对薄膜导电性能的影响第34-35页
   ·电磁屏蔽效能测试第35-37页
   ·小结第37-38页
第五章 结语第38-39页
   ·结论第38页
   ·本课题不足及展望第38-39页
致谢第39-40页
参考文献第40-42页
附录1第42-43页
附录2第43-52页

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