微波MEMS可重构低通滤波器的设计与实现
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·MEMS及其加工技术 | 第10-11页 |
| ·RF/MW MEMS可调滤波技术 | 第11-17页 |
| ·RF/MW MEMS器件的研究情况 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 MEMS可重构低通滤波器的研究基础 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·微带传输线理论 | 第21-22页 |
| ·慢波共面波导传输线 | 第22-26页 |
| ·两端口微波网络 | 第26-29页 |
| ·微波滤波网络 | 第29-30页 |
| ·分形自相似理论原理 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微波MEMS可重构低通滤波器的设计 | 第34-55页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·集总参数法设计电子滤波器 | 第34-39页 |
| ·分布参数法设计微波滤波器 | 第39-41页 |
| ·MEMS低通滤波器原型的设计 | 第41-46页 |
| ·引入多触点开关调节电感值 | 第46-47页 |
| ·集总模型的提取及可行性分析 | 第47-48页 |
| ·RF MEMS低通滤波单元的优化设计 | 第48-50页 |
| ·滤波器的重构技术 | 第50-53页 |
| ·版图设计 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 MEMS低通滤波器的工艺实现 | 第55-64页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·滤波器单元的工艺制备 | 第55-58页 |
| ·工艺难点研究和探讨 | 第58-60页 |
| ·试验所得到的样品图片 | 第60-61页 |
| ·需要改进的地方 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 MEMS可重构滤波器的测试分析 | 第64-72页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·测试环境和测试系统 | 第64-65页 |
| ·测试原理 | 第65页 |
| ·传输线的测试结果 | 第65-68页 |
| ·滤波器性能测试 | 第68-69页 |
| ·MEMS开关的性能测试 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结论及未来的工作 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
