| 目录 | 第1-8页 |
| 图表目录 | 第8-12页 |
| 摘要 | 第12-14页 |
| Abstract | 第14-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·偏振光学元件的发展和研究现状 | 第17-21页 |
| ·极紫外和软X射线波段偏振光学元件应用 | 第21-22页 |
| ·课题研究背景和研究内容 | 第22-28页 |
| 第2章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件设计 | 第28-54页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·极紫外与软X射线周期多层膜偏振元件设计 | 第28-35页 |
| ·极紫外与软X射线非周期多层膜偏振元件设计 | 第35-52页 |
| ·宽带及宽角多层膜偏振光学元件膜系初始结构推导 | 第35-38页 |
| ·极紫外与软X射线多层膜宽带偏振元件设计 | 第38-46页 |
| ·极紫外与软X射线多层膜宽角偏振元件设计 | 第46-50页 |
| ·极紫外与软X射线非周期透射多层膜偏振元件设计 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件制备与检测 | 第54-65页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·溅射原理及磁控溅射设备简介 | 第54-56页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第56-59页 |
| ·合肥国家同步辐射实验室(NSRL)反射率计 | 第59-60页 |
| ·北京同步辐射装置(BSRF)偏振测量装置 | 第60-61页 |
| ·德国柏林同步辐射实验室(BESSY)偏振测量装置 | 第61-62页 |
| ·其他检测方法 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件测试结果与分析 | 第65-100页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·XRD小角衍射测试 | 第65-70页 |
| ·NSRL反射率测试结果 | 第70-71页 |
| ·BSRF偏振测试结果 | 第71-73页 |
| ·BESSY偏振测试结果 | 第73-99页 |
| ·反射式周期多层膜偏振元件测试结果 | 第73-79页 |
| ·透射式周期多层膜偏振元件测试结果 | 第79-80页 |
| ·反射式Mo/Si非周期多层膜偏振元件测试结果 | 第80-86页 |
| ·反射式Mo/Y非周期多层膜偏振元件测试结果 | 第86-92页 |
| ·透射式Mo/Si非周期多层膜偏振元件测试结果与分析 | 第92-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 全文总结 | 第100-102页 |
| ·主要研究成果 | 第100页 |
| ·论文主要创新点 | 第100-101页 |
| ·需要进一步解决的问题 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 作者简介 | 第107页 |
| 发表论文 | 第107页 |
