AFM工作台扫描控制系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·课题背景 | 第10-14页 |
| ·表面显微技术的发展 | 第10-12页 |
| ·原子力显微镜科学地位和发展现状 | 第12-13页 |
| ·迟滞特性的研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题研究的目的、意义和内容 | 第14-16页 |
| ·课题研究的目的 | 第14页 |
| ·课题研究的意义 | 第14-15页 |
| ·课题研究的内容 | 第15-16页 |
| 第2章 原子力显微镜系统的组成及原理 | 第16-30页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·原子力显微镜系统 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第17-21页 |
| ·基本原理 | 第17页 |
| ·微悬臂形变的检测 | 第17-19页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第19-21页 |
| ·测头的组成 | 第21-23页 |
| ·悬臂梁及探针 | 第21-23页 |
| ·悬臂梁固定器的结构 | 第23页 |
| ·检测光路 | 第23页 |
| ·原子力显微镜测量存在的问题 | 第23-29页 |
| ·探针对测量结果的影响及改进方法 | 第23-26页 |
| ·噪声对测量结果的影响 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷的迟滞效应和非线性 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 压电陶瓷工作台迟滞模型的研究 | 第30-43页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·压电陶瓷的迟滞特性及其对测量的影响 | 第30-32页 |
| ·压电陶瓷的迟滞特性 | 第30-31页 |
| ·迟滞对测量结果的影响 | 第31-32页 |
| ·压电陶瓷工作台迟滞模型的建立 | 第32-39页 |
| ·迟滞模型建立的理论基础 | 第32-33页 |
| ·压电陶瓷迟滞模型的建立 | 第33-37页 |
| ·迟滞模型的应用 | 第37-38页 |
| ·迟滞模型参考曲线的求解 | 第38-39页 |
| ·迟滞模型的实验验证 | 第39-42页 |
| ·实验系统 | 第39页 |
| ·迟滞模型求解 | 第39-40页 |
| ·模型与实验数据的对比 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 扫描控制系统控制方法的研究 | 第43-51页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·横向开环控制系统的研究 | 第43-45页 |
| ·开环逆控制方法的原理 | 第43页 |
| ·迟滞逆模型的求解 | 第43-44页 |
| ·基于迟滞模型开环控制系统的实现 | 第44-45页 |
| ·横向基于迟滞模型的闭环控制系统研究 | 第45-49页 |
| ·闭环数字式PID控制方法 | 第46-47页 |
| ·基于迟滞模型的闭环控制方法 | 第47-49页 |
| ·纵向基于迟滞模型的闭环控制系统研究 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 实验结果和控制方法的比较 | 第51-58页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·横向基于迟滞模型的开环控制实验 | 第51-53页 |
| ·实验方法 | 第51页 |
| ·实验结果 | 第51-53页 |
| ·横向基于迟滞模型的闭环控制实验 | 第53-56页 |
| ·各种控制方法的比较 | 第56-57页 |
| ·AFM工作台扫描控制系统存在的问题 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第63页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第63页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
