脉冲偏压电弧离子镀CrAlN薄膜性能研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-19页
·硬质薄膜研究进展	第8-11页
·TiN薄膜	第8页
·TiAlN薄膜	第8-9页
·CrAlN薄膜的研究进展	第9-11页
·电弧离子镀	第11-13页
·脉冲偏压电弧离子镀	第13-17页
·脉冲偏压作用下的等离子体负载特性	第13-14页
·脉冲偏压对沉积薄膜性能的影响	第14-17页
·脉冲偏压电弧离子镀的应用与前景	第17页
·论文工作的内容与意义	第17-19页
2 实验设备与实验方法	第19-24页
·实验设备简介	第19-20页
·实验方法	第20-24页
·基体材料的选择原则、制备及预处理	第20-21页
·薄膜材料的选择及制备工艺	第21-22页
·薄膜结构及性能分析测试方法	第22-24页
3 脉冲偏压对CrAlN薄膜性能的影响	第24-34页
·实验工艺参数	第24-25页
·实验结果	第25-33页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜化学成分的影响	第25页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜相结构的影响	第25-26页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜沉积速率的影响	第26-27页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜表面形貌的影响	第27-28页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜硬度的影响	第28-29页
·脉冲偏压对CrAlN薄膜摩擦磨损性能的影响	第29-31页
·CrAlN薄膜的膜基结合力	第31-33页
·小结	第33-34页
4 弧流对于CrAlN薄膜性能的影响	第34-42页
·实验工艺	第34页
·实验结果	第34-40页
·弧流对CrAlN薄膜化学成分的影响	第34-35页
·弧流对CrAlN薄膜的相组成的影响	第35页
·弧流对CrAlN薄膜的表面形貌的影响	第35-37页
·弧流对CrAlN薄膜硬度的影响	第37-39页
·弧流对CrAlN薄膜摩擦磨损性能的影响	第39-40页
·小结	第40-42页
5 CrAlN薄膜的高温抗氧化研究	第42-47页
·高温抗氧化实验	第42页
·氧化动力学	第42-44页
·氧化分析	第44-46页
·小结	第46-47页
结论	第47-48页
参考文献	第48-53页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第53-54页
致谢	第54-55页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第55页