| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 引言 | 第7-9页 |
| 1 等离子体源研究概况 | 第9-13页 |
| ·背景 | 第9-10页 |
| ·感应耦合等离子体装置结构及基本原理 | 第10-13页 |
| 2 以为平板线性感应耦合等离子体模拟 | 第13-23页 |
| ·背景 | 第13页 |
| ·理论模型 | 第13-19页 |
| ·结果及讨论 | 第19-23页 |
| 3 二维线性及非线性动力学模型 | 第23-49页 |
| ·背景 | 第23页 |
| ·二维线性TCP理论模型及数值结果 | 第23-36页 |
| ·二维线性TCP理论模型 | 第23-29页 |
| ·二维线性TCP结果及分析 | 第29-36页 |
| ·二维非线性TCP理论模型及结果分析 | 第36-49页 |
| ·二维非线性TCP理论模型 | 第36-39页 |
| ·二维非线性TCP数值结果及分析 | 第39-49页 |
| 4 一维负偏压碰撞鞘层的Child—Langmuir定律的拟和公式 | 第49-57页 |
| ·背景 | 第49-50页 |
| ·理论模型 | 第50-53页 |
| ·数值结果和拟和公式 | 第53-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第63页 |