| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·TiNi 形状记忆合金综述 | 第9页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜的研究概况 | 第9-14页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜的制备 | 第10-11页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜的力学性能 | 第11-12页 |
| ·热处理对相变温度的影响 | 第12-14页 |
| ·合金元素对相变温度的影响 | 第14页 |
| ·TiNi 薄膜在微驱动器材和微机电系统上的应用 | 第14-17页 |
| ·选题的意义和内容 | 第17-19页 |
| 2 TiNi 薄膜的制备及其组织性能 | 第19-29页 |
| ·磁控溅射法制备TiNi 合金薄膜及其组织性能 | 第19-26页 |
| ·实验方法 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射法制备薄膜 | 第21-24页 |
| ·磁控溅射法制备的TiNi 合金薄膜的组织结构分析 | 第24-26页 |
| ·磁控溅射法制备的TiNi 合金薄膜的真空晶化退火及组织性能 | 第26-29页 |
| ·真空晶化退火 | 第26-27页 |
| ·退火态薄膜的组织结构分析 | 第27-29页 |
| 3 TiNi 合金薄膜中的马氏体相变 | 第29-39页 |
| ·马氏体的形成 | 第29-31页 |
| ·马氏体的晶体结构 | 第31-32页 |
| ·热弹性马氏体相变热力学 | 第32页 |
| ·TiNi 合金薄膜的马氏体相变 | 第32-33页 |
| ·透射下动态观察 | 第33-39页 |
| 4. 结论 | 第39-40页 |
| 致谢 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-43页 |
| 附录 | 第43-46页 |
| 攻读硕士期间发表论文及获奖情况 | 第46页 |