| 第一章 前言 | 第1-15页 |
| ·本课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·本课题研究的目标及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外发展动态和趋势 | 第12-14页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 电子管栅极涂覆材料和工艺 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·栅极表面涂覆材料 | 第16-21页 |
| ·金 | 第17-18页 |
| ·钛 | 第18页 |
| ·锆 | 第18页 |
| ·碳 | 第18-19页 |
| ·钽 | 第19页 |
| ·铂 | 第19-21页 |
| ·栅极表面涂覆工艺 | 第21-31页 |
| ·电镀工艺及原理 | 第22页 |
| ·喷涂工艺 | 第22页 |
| ·电泳工艺及原理 | 第22-31页 |
| ·电泳原理 | 第23-25页 |
| ·电泳液中主要成分的确定 | 第25-30页 |
| ·溶剂的选择 | 第26-27页 |
| ·电荷源的应用 | 第27页 |
| ·粘结剂的确定 | 第27-28页 |
| ·电泳液主要成分对沉积速度的影响 | 第28-30页 |
| ·电泳原理小结 | 第30-31页 |
| 第三章 栅极电泳TAC 工艺的研究 | 第31-48页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·试验方法 | 第32页 |
| ·试验过程 | 第32-46页 |
| ·电泳配方的摸索 | 第33-42页 |
| ·电泳液主要成分的初步确定 | 第33-34页 |
| ·不同钼片的电泳实验 | 第34-37页 |
| ·不同栅极的电泳试验 | 第37-42页 |
| ·真空烧结规范的摸索 | 第42-43页 |
| ·收缩率的确定 | 第43-44页 |
| ·确定电泳后栅极最佳丝宽值及涂层重量的计算方法 | 第44-45页 |
| ·电泳与喷涂栅极效果的对比 | 第45-46页 |
| ·装管试验的结果 | 第46-47页 |
| ·FC307F 的装管试验结果 | 第46-47页 |
| ·FC502F 的装管试验结果 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 栅极电泳ZRC 工艺的研究 | 第48-57页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·试验方法 | 第48页 |
| ·试验过程 | 第48-55页 |
| ·栅极电泳ZRC 配方的摸索 | 第49-53页 |
| ·ZrC 粉的激活预处理 | 第49-50页 |
| ·电泳模具极间距离的确定 | 第50-51页 |
| ·栅极电泳配方与参数的确定 | 第51-53页 |
| ·真空烧结ZRC 工艺的确定 | 第53页 |
| ·收缩率与电泳后最佳丝宽及重量值的确定 | 第53-55页 |
| ·装管试验的结果 | 第55页 |
| ·自动电泳的初步试验 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 栅极电镀铂黑工艺的研究 | 第57-71页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·试验方法 | 第57-58页 |
| ·试验过程 | 第58-67页 |
| ·电镀铂黑配方的初步摸索实验 | 第58-59页 |
| ·电镀主要参数的确定 | 第59-62页 |
| ·电镀铂黑工艺的确定 | 第62-65页 |
| ·影响电镀铂黑效果的因素 | 第62-64页 |
| ·栅极电镀铂黑工艺 | 第64-65页 |
| ·真空烧结规范的摸索 | 第65页 |
| ·收缩率与电镀铂黑后最佳丝宽值的确定 | 第65-67页 |
| ·实验结果 | 第67-69页 |
| ·铂黑涂覆层分析的结果 | 第67-68页 |
| ·装管实验的结果 | 第68-69页 |
| ·与普通镀铂工艺比较的结果 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 栅极表面处理不同工艺路线的研究 | 第71-75页 |
| ·电镀铂黑取代普通镀铂 | 第71-72页 |
| ·“电泳TAC 或ZRC+电镀铂黑”取代“喷涂TAC+电镀铂” | 第72-74页 |
| ·结论 | 第74-75页 |
| 第七章 激光加工热解石墨栅极的表面处理 | 第75-83页 |
| ·前言 | 第75-76页 |
| ·试验方法 | 第76页 |
| ·试验过程 | 第76-81页 |
| ·焙烧最佳温度的试验摸索 | 第77-78页 |
| ·焙烧工艺和工具的改进 | 第78-79页 |
| ·焙烧预处理和焙烧后处理工艺的完善 | 第79-81页 |
| ·实验结果 | 第81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第八章 全文总结 | 第83-85页 |
| ·主要研究成果 | 第83页 |
| ·主要创新点 | 第83-84页 |
| ·下一步研究工作的打算和目标 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第87页 |