大口径球面数字刀口检测技术的研究
| 第一章 绪论 | 第1-12页 |
| 1．1 论文选题的意义 | 第8-9页 |
| 1．2 国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1．3 论文内容安排 | 第10页 |
| 参考文献 | 第10-12页 |
| 第二章 光学元件面形检测的常用方法 | 第12-28页 |
| 2．1 阴影法 | 第12-21页 |
| 2．1．1 阴影法原理 | 第12-15页 |
| 2．1．2 阴影图的特点和最佳象点 | 第15-16页 |
| 2．1．3 阴影法的灵敏度 | 第16-18页 |
| 2．1．4 刀口仪 | 第18页 |
| 2．1．5 刀口检测技术的特点 | 第18-21页 |
| 2．2 干涉法 | 第21-26页 |
| 2．2．1 移相干涉法 | 第21-23页 |
| 2．2．2 锁相干涉法 | 第23页 |
| 2．2．3 外差干涉法 | 第23-24页 |
| 2．2．4 干涉仪 | 第24-26页 |
| 2．2．5 相位干涉法的特点 | 第26页 |
| 2．3 本章小结 | 第26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第三章 数字刀口检测技术 | 第28-40页 |
| 3．1 数字刀口检测原理 | 第28-34页 |
| 3．1．1 数学模型 | 第28-31页 |
| 3．1．2 实际考虑的问题 | 第31-32页 |
| 3．1．3 暗场阈值 | 第32-34页 |
| 3．2 数字刀口检测评价参数 | 第34-39页 |
| 3．2．1 RA值 | 第34页 |
| 3．2．2 RMS值 | 第34页 |
| 3．2．3 P-V值 | 第34页 |
| 3．2．4 PSD值 | 第34-36页 |
| 3．2．5 位相梯度 | 第36-39页 |
| 3．3 本章小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第四章 程序设计 | 第40-42页 |
| 4．1 程序设计框图 | 第40-41页 |
| 4．2 需进一步完善的功能 | 第41-42页 |
| 4．2．1 程序的优化 | 第41页 |
| 4．2．2 功能的扩展 | 第41-42页 |
| 第五章 大口径光学元件面形检测的实验研究 | 第42-57页 |
| 5．1 实验装置 | 第42页 |
| 5．2 实验内容 | 第42-55页 |
| 5．2．1 实验流程 | 第42-43页 |
| 5．2．2 φ150mm口径球面镜的检测 | 第43-48页 |
| 5．2．3 φ125mm口径球面镜的检测 | 第48-51页 |
| 5．2．4 RA分析 | 第51页 |
| 5．2．5 RMS分析 | 第51页 |
| 5．2．6 P-V分析 | 第51-52页 |
| 5．2．7 PSD分析 | 第52-53页 |
| 5．2．8 位相梯度分析 | 第53页 |
| 5．2．9 象差分析 | 第53-54页 |
| 5．2．10 误差分析 | 第54-55页 |
| 5．3 减小测量误差的措施 | 第55页 |
| 5．4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 总结 | 第57-58页 |
| 硕士阶段的主要论文 | 第58-59页 |
| 独创性声明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
