| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 学位论文独创性声明 | 第8-9页 |
| 第一章 微机电系统技术 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·微机电系统概述 | 第10-13页 |
| ·MEMS技术的特点 | 第10-11页 |
| ·MEMS的关键技术 | 第11页 |
| ·MEMS器件的分类 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS器件的研究 | 第13-20页 |
| ·MEMS电感 | 第13-14页 |
| ·MEMS移相器 | 第14-15页 |
| ·MEMS天线 | 第15-16页 |
| ·MEMS开关 | 第16-20页 |
| ·本论文的研究意义 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 并联接触式RF MEMS开关的设计基础 | 第22-34页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·并联接触式RF MEMS开关的结构 | 第22-23页 |
| ·并联接触式RF MEMS开关的等效电路 | 第23-26页 |
| ·并联接触式RF MEMS开关的电磁分析 | 第26-30页 |
| ·等效电容 | 第26-27页 |
| ·电流分布 | 第27-28页 |
| ·等效电感 | 第28-30页 |
| ·等效电阻 | 第30页 |
| ·并联接触式RF MEMS开关的机电模型分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 并联接触式RF MEMS开关的设计与仿真 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·共平面波导(CPW)传输线的分析与设计 | 第34-37页 |
| ·影响CPW线传输损耗的因素 | 第35-36页 |
| ·CPW线的尺寸设计 | 第36-37页 |
| ·RF MEMS开关的仿真 | 第37-44页 |
| ·开关结构的仿真原理 | 第37-40页 |
| ·开关结构的仿真与等效电路参数提取 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 并联接触式RF MEMS开关的工艺制作及讨论 | 第46-53页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·RF MEMS开关的工艺流程 | 第46-50页 |
| ·RF MEMS开关工艺流程的分析与讨论 | 第50-52页 |
| ·开关工艺流程的分析总结 | 第50-51页 |
| ·开关工艺流程的改进 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 并联接触式RF MEMS开关的测试与分析 | 第53-63页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·开关测试系统及原理 | 第53-56页 |
| ·微波性能测试 | 第53-54页 |
| ·可靠性测试 | 第54-56页 |
| ·测试结果与分析 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 硕士期间文章发表 | 第69-70页 |
| 个人简历 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |