氧化物材料的氧环境扫描电镜分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| 1．1 研究背景 | 第7-15页 |
| 1．1．1 扫描电镜工作原理 | 第7-10页 |
| 1．1．2 绝缘材料的充电现象 | 第10-11页 |
| 1．1．3 充电的补偿方法 | 第11-15页 |
| 1．2 本文研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验装置 | 第17-24页 |
| 2．1 送氧装置 | 第18页 |
| 2．2 真空检测设备 | 第18-19页 |
| 2．3 样品电流测试设备 | 第19-22页 |
| 2．4 样品加热设备 | 第22-23页 |
| 2．5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 实验样品 | 第24-29页 |
| 3．1 实验样品的制备 | 第24-27页 |
| 3．2 实验样品的处理 | 第27-28页 |
| 3．3 实验样品的性质 | 第28页 |
| 3．4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 实验方法与内容 | 第29-48页 |
| 4．1 氧化物的充电现象及通氧的补偿效果 | 第29-30页 |
| 4．2 吸收电流测试 | 第30-43页 |
| 4．2．1 氧环境对充电补偿的评价 | 第32-36页 |
| 4．2．2 镀导电膜的评价 | 第36-38页 |
| 4．2．3 SEM成像参数对充电的影响 | 第38-43页 |
| 4．2．3．1 放大倍率对充电的影响 | 第38-40页 |
| 4．2．3．2 电子束能量对充电的影响 | 第40-43页 |
| 4．3 加热的充电补偿效果 | 第43-45页 |
| 4．4 充电对样品元素分析的影响 | 第45-47页 |
| 4．5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 充电机制与充电补偿 | 第48-53页 |
| 5．1 氧化物的充电机制 | 第48-50页 |
| 5．2 氧环境的充电补偿机制 | 第50-52页 |
| 5．3 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
