数字波面干涉技术及其应用研究
1 绪论 | 第1-13页 |
·课题研究背景 | 第9-11页 |
·本论文的主要研究工作 | 第11-13页 |
2 数字波面复原技术 | 第13-27页 |
·干涉条纹的产生 | 第13-14页 |
·条纹法 | 第14-16页 |
·干涉图预处理 | 第14-15页 |
·条纹法 | 第15-16页 |
·移相干涉术 | 第16-18页 |
·移相干涉术的基本方程 | 第16页 |
·重叠四步平均法 | 第16-18页 |
·相位恢复的种子算法 | 第18-25页 |
·波面主值计算原理 | 第18页 |
·波面解包原理 | 第18-19页 |
·解包算法 | 第19-23页 |
·二维相位解包算法处理实例 | 第23-25页 |
·小结 | 第25-27页 |
3 数字波面干涉仪的智能化技术 | 第27-45页 |
·干涉图的捕获 | 第27-32页 |
·干涉仪中瞳和窗 | 第27-29页 |
·干涉图的捕获的条件 | 第29-30页 |
·干涉图的变倍与共轭 | 第30页 |
·干涉图的捕获 | 第30-32页 |
·光强调节系统 | 第32-36页 |
·系统工作原理 | 第33-34页 |
·光强调节控制程序 | 第34-35页 |
·直流电机驱动电路 | 第35-36页 |
·PSI软件简介 | 第36-40页 |
·软件包的模块设计 | 第36-37页 |
·PSI软件特点 | 第37-40页 |
·数字波面干涉仪 | 第40-44页 |
·泰曼-格林干涉仪 | 第41页 |
·斐索干涉仪 | 第41-42页 |
·剪切干涉仪 | 第42-43页 |
·红外干涉仪 | 第43-44页 |
·小结 | 第44-45页 |
4 波前畸变的测量 | 第45-67页 |
·激光波前的测量 | 第45-49页 |
·剪切干涉图波面复原 | 第45-47页 |
·波前的测量 | 第47-49页 |
·Nd:YAG晶体材料光学均匀性的测量 | 第49-52页 |
·Nd:YAG晶体材料 | 第49-51页 |
·材料光学均匀性的测量 | 第51-52页 |
·锥体棱镜测量 | 第52-60页 |
·锥体棱镜特性 | 第53-55页 |
·测量软件及模拟仿真 | 第55-59页 |
·实验 | 第59-60页 |
·表面粗糙度的测量 | 第60-66页 |
·固体表面的形状 | 第60-63页 |
·表面粗糙度与干涉条纹对比度 | 第63-65页 |
·粗糙度测量 | 第65-66页 |
·小结 | 第66-67页 |
5 柱面绝对检验 | 第67-83页 |
·绝对检验原理 | 第67-73页 |
·波面的奇偶对称性 | 第67-69页 |
·柱面绝对检验原理 | 第69-71页 |
·柱面干涉图的数字化旋转 | 第71-73页 |
·多干涉图组合测试中的干涉图空间一致性 | 第73-76页 |
·柱面绝对检验中四幅干涉图的空间一致性要求 | 第73-74页 |
·干涉图空间位置的自动识别 | 第74-75页 |
·空间一致性调整与归一化参数的求取 | 第75-76页 |
·柱面绝对检验装置 | 第76-80页 |
·柱面透镜 | 第77-78页 |
·空心直角棱镜 | 第78-80页 |
·软件系统 | 第80页 |
·实验结果及分析 | 第80-82页 |
·小结 | 第82-83页 |
6 总结 | 第83-86页 |
·本人所做工作及创新点 | 第83页 |
·在读期间发表论文 | 第83-84页 |
·科研和获奖情况 | 第84-86页 |
致谢 | 第86-87页 |
参考文献 | 第87-95页 |