椭偏法测量光栅参数的理论研究
| 第一章 前言 | 第1-17页 |
| ·光栅的发展历史 | 第7-9页 |
| ·光栅发展的初期 | 第7页 |
| ·Fraunhofer对光栅发展的贡献 | 第7-8页 |
| ·光栅的进一步完善和发展 | 第8页 |
| ·现代光栅的发展 | 第8-9页 |
| ·光栅参数的重要性及测量光栅参数的各种方法 | 第9-10页 |
| ·椭偏测量术的特点和应用 | 第10-12页 |
| ·本文研究的意义和主要内容 | 第12-14页 |
| 参考文献 | 第14-17页 |
| 第二章 电磁场的基本规律和光栅椭偏参数的推导 | 第17-30页 |
| ·电磁场的基本规律 | 第17-21页 |
| ·电磁波Maxwe(?)方程及边界条件 | 第17-19页 |
| ·电磁性质方程 | 第19-20页 |
| ·玻印亭矢量、能量守恒与对易关系 | 第20-21页 |
| ·光栅椭偏参数的推导 | 第21-27页 |
| ·椭偏测量术的测量原理 | 第22-25页 |
| ·光栅椭偏参数的推导 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-30页 |
| 第三章 光栅椭偏特性的研究及应用 | 第30-41页 |
| ·亚波长正弦形介质光栅的椭偏特性 | 第30-35页 |
| ·基本光栅模型 | 第31页 |
| ·单界面和多界面情形 | 第31-35页 |
| ·亚波长正弦形光栅的应用 | 第35-39页 |
| ·设计模型 | 第36-37页 |
| ·四分之一波片的设计 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 第四章 用正单纯形法反演光栅参数的研究 | 第41-58页 |
| ·正单纯形法 | 第41-44页 |
| ·正单纯形法的基本思路和初始正单纯形S_0的形成 | 第42-43页 |
| ·正单纯形法的流程图 | 第43-44页 |
| ·光栅参数的反演 | 第44-53页 |
| ·评价函数的选取 | 第45-46页 |
| ·反演光栅参数的步骤 | 第46页 |
| ·反演正弦型金属光栅参数 | 第46-51页 |
| ·反演各向异性阶梯光栅参数 | 第51-53页 |
| ·有关入射角选取问题的研究 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 第五章 总结 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录 | 第60-61页 |
| 声明 | 第61页 |
